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SEMI Standards - introduction to SECS/GEM
2024-06-11
2024-06-11

SECS/GEM 是什麼?SEMI 設備通訊標準介紹

SEMI Standards - introduction to SECS/GEM

自從全球工業4.0浪潮以來,製造業無不期盼透過資通訊科技,協助實現產線數位化,以提升產品品質與生產效率。而近年AI等創新科技湧現、以及疫情與戰爭帶來的衝擊,也都驅動了製造業加速邁向智慧製造,藉由可快速靈活調整的生產機制,快速回應來自四面八方的挑戰。

 

製造業轉型過程中,以半導體產業推動智慧製造的速度最快。這其中除了來自於市場與產業龍頭的驅動,背後功臣還有SEMI國際半導體產業協會所制定的 SECS/GEM標準,讓半導體廠中的各種生產設備,能在此標準通信協定上以自動化方式相互傳輸資料,扮演整個智慧製造藍圖的關鍵。

 

Table of Content

 

SECS標準的完整名稱是SEMI Equipment Communications Standard,而GEM 的英文全名是 Generic Equipment Model。SECS/GEM標準是由SECS I、HSMS、SECS II和GEM等標準組成,涵蓋完整通訊協定、多元控制、實施方法等三大部分。在1980年代以前,半導體生產環境中的各品牌設備,都是各自採用自家通訊標準,以至於設備之間資料交換難度高、且仰賴人工處理。SEMI 透過陸續制定相關標準,推動半導體產業朝向自動化發展。

 

The architecture of SECS and GEM standards

 

在SECS/GEM標準中包含兩種通訊協定,首先是以RS232介面為主的「串列通訊標準 SECS‐I (E4)」 ,這是半導體製造設備與主機之間的通信標準,涵蓋物理層、資料傳輸層,如:傳輸速度、資料格式、訊息結構等等,方便進行監視和控制。SECS‐I 採用半雙工訊設計, 設備和主機可發送和接收消息,當生產過程中發生異常時,設備能立即向主機通報,方便現場人員在第一時間進行處理。

隨著傳輸速度快、部署容易的乙太網路普及後,SEMI也推出以TCP/IP協定為主的HSMS (High-Speed SECS Message Services,E37),則是用來取代速度較慢的SECS I

 

相較於SECS I、HSMS等標準,主要制定底層的通訊協定,SECS/GEM標準的SECS II則是規範應用服務在前述應用協定上的資料結構,如設備狀狀態、配方管理、資料收集方式等等,確保在超過上千個生產流程的複雜環境中,也能達成資料交換與設備控制的目的。

至於SECS/GEM標準中的GEM,則是定義設備或應用程式的設備運作模式,並依照制定命令 (Command)、事件 (Event)、資料 (Data)等三種控制模式,滿足不同應用情境的運作需求。前面提到SECS I、HSMS提供進行雙向傳輸的通訊標準,所以可由主機、或操作員發送命令,要求設備執行特定的操作;而設備也能在發生特定事件時,主動通知主機或現場管理員,分享設備運作過程中發生的變化。至於設備和主機之間交換的資料,則涵蓋參數或狀態訊息等,這正是實施智慧製造的重要關鍵。

除此之外,GEM標準也針對通訊狀態模型(Communication State Model)、控制狀態模型(Control State Model)、處理狀態模型(Processing State Model)等,制定詳細的標準與執行模式,確保處於不同生產環節的設備都能提供一致性的報告、並具備可管理性,方便半導體業者進行工廠監控和設備設備管理。

 

在完整定義應用程式與設備的運作之後,SECS/GEM標準能適用於多元應用情境,且隨著相關內容持續修正與增加,可預期未來會有更豐富的應用情境出現。在資料收集的部分,支援生產過程參數、事件日誌、警報訊息等即時資訊收集,若業者搭配後台AI主機進行分析,可即時掌握整體生產品質、設備健康狀況,進而在生產異常或生產品質下滑之前,即時採取相對應行動,有助提高整體生產效率與維持品質。

在遠端控制部分,則允許主機系統發送命令以控制設備的運行,包括啟動、停止、暫停、恢復等操作。在設備參數設定部分,亦提供主機透過遠端機制調整設備參數的功能。此兩項功能,可大幅降低現場管理員的工作負擔,並且提高產線的稼動率。至於在事件報告部分,設備能在生產完成、警報觸發等事件發生時,自動向主機報告重要事件,有助於降低異常狀況的處理時間、提高產線利用率。

由於SECS/GEM標準為半導體產業帶來的效益非常可觀,所以也在電子產業、太陽能等產業被廣泛採用,並依產業特性進行修改,成為邁向智慧製造的重要關鍵。

 

對於導入 SECS/GEM 標準的企業而言,不僅需要擁有完整的標準規範文件,更需要第一線研發人員對標準內容深入理解、融會貫通,若經營管理階層能夠提升相關技術概念,則能增進與工程人員的溝通效率。

SEMI 作為制定SECS/GEM標準的機構,不僅擁有與標準相關的豐富資源,同時也有標準的培訓課程機制,期盼在半導體產業實施、導入SECS/GEM標準的過程中,提供完整顧問服務與技術支援。

 

如欲進一步了解 SECS/GEM 標準企業教育訓練,請與 SEMI 標準部門聯繫:

Cher Wu [email protected]、Cheryl Chuang [email protected]

 

*特別感謝喜士俊科技-楊辰隆Andy Yang擔任本文技術顧問

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