SEMI訪談東京威力科創 (Tokyo Electron Limited，下稱TEL) 的服務策略與卓越部門 (Service Strategy and Excellence) 資深副總裁 Eyal Shekel，討論人工智慧對智慧製造有何影響，先進製程工具的其他製造解決方案又將如何推動半導體製造？
SEMI：人工智慧被視為是智慧製造的主要推手，請問有什麼最新的技術相關趨勢？
Shekel：有鑑於製程節點愈來愈先進，加上3D半導體幾何結構極端複雜，導致產品上市時間拉長，製造成本增加，這個現象放諸於設備研發、大規模量測使用、監測良率抑制劑等領域皆然。
在材料資訊學領域中，人工智慧扮演愈來愈關鍵的角色，必須判斷出適合的材料與處理技術，未來才能符合設備的需求。在搭配新型材料與製程的情況下，虛擬量測的研發與落實將可讓人員精準、且幾乎是即時監控客戶的元件晶圓 (device wafer)，製程每個階段都是如此。
SEMI：在研發、試產擴量、大規模量產等幾個階段當中，數據分析有哪些好處？
Shekel：由人工智慧所催生而成的材料資訊學，屬於一門新的研究領域，相關工具能夠促進高效率的製程開發與製程優化。舉例而言，TEL研發出一套方法能夠同時優化製程與材料，進而提升蝕刻速率。
為了監控與管理半導體製程的良率，直接量測是關鍵環節，但礙於時間與成本因素，並不容易監測所有的製程晶圓 (production wafer)。拜人工智慧的深度學習之賜，如今參考生產設備數據與先前處理過的晶圓量測變數後，愈來愈能夠預測每個晶圓的量測結果，進而達到全面品質管理 (TQM) 與批次控制 (run-to-run control)，同時降低製造成本與縮短週期時間。
SEMI：請你介紹一下TEL服務優勢 (TEL Service Advantage) ？
Shekel：TEL服務優勢是TEL的全球支援系統，客戶得以選擇符合自身所需的服務方案。透過TEL服務優勢，我們能夠迅速因應客戶需求與技術升級。TEL服務優勢提供多元方案，協助客戶將設備維修效率最大化，並優化TEL設備的生產力。TEL服務優勢的方案可以合併，藉此因應客戶需求、達到最佳成效。
TEL服務優勢的一個關鍵是TELeMetrics™服務。TEL使用遠端連線，分析來自於不同感測器傳來的設備數據，再根據分析結果，為客戶解決設備產量的問題，並提供預測性維修。
SEMI：疫情期間，人工智慧提供了什麼樣的協助？可以請你分享成功案例嗎？
Shekel：受到疫情的影響，全球各地祭出旅遊禁令，我們很難、甚至根本無法拜訪客戶，一直到現在都還是如此。疫情初期，我們透過手機或電子郵件這些標準通訊工具聯繫客戶，同時加強全面支援中心 (Total Support Centre) 的遠端支援服務。
TEL持續迅速開發服務優勢方案，並開始採用額外的進階工具與方法如下：
- 部署擴增實境 (Augmented Reality)，遠端協助客戶與TEL工程人員。
- 將遠端連線功能建置於TEL工具，藉以調查參數與紀錄，或是改變設定。
- 推動遠端訓練課程，透過視訊會議系統讓培訓人員得以結合工廠的訓練工具，協助全球各地工程人員精進技能。
- 使用擴增實境眼鏡，進行工具裝機 (start-up) 與故障排除。
- 採用語言搜尋能力多功能工具，擴大TEL數據庫全球科技。
有家客戶在歐洲廠的重大工程就是很好的成功案例。我們採取了上述所有方法，與客戶的在地團隊合作，將一項工具整合於製程當中，過程並沒有重大延誤。客戶給予我們高度評價，我們也相當重視這樣的合作成果。
SEMI：您預計未來會如何發展？
Shekel：全球科技基礎建設日新月異，5G、物聯網、進階感測能力等環節將會形成所謂的通用型人工智慧 (General AI)，未來將會以類神經網路的基礎建設為根基。自動學習將會擴及不同領域，借重內部邏輯與推理，將目前仍須人工進行的工作自動化。尤其是在我們的產業，工作人員受惠於通用型人工智慧，未來可以進一步專注在數據分析與進階研發，而不會侷限在當前的運作。
SEMI：科技如何讓人類緊密結合？SEMI如何幫助您的企業達到目標？
Shekel：過去150年來，科技不斷讓人類更加緊密結合。我們一開始使用電報與電話，長距離交換訊息，如今則有視訊會議、擴增實境等不斷精進的通訊技術，要拉近大家的距離變得更加容易。這點在疫情期間尤其明顯與可貴。事實上，即使我們無法親自到場，也能夠持續執行所有重大事項，包括工具支援、培訓、維護客戶關係等等。
我通常會透過SEMICON半導體展跟同業與客戶交流，讓我可以跟大家保持聯繫，也能有機會認識更多新朋友。此外，我還可以隨時觀看演講與簡報，不會因為半導體展與活動同時進行而錯過一些活動。
Eyal Shekel是東京威力科創 (Tokyo Electron Limited；TEL) 服務策略與卓越部門 (Service Strategy and Excellence) 資深副總裁，擁有27年的半導體產業資歷。他在以色列理工學院 (Technion；技術領域的一流學府) 就讀機構工程，畢業後隨即加入應用材料公司。1997年，他轉職進入TEL歐洲分公司，擔任以色列區域服務經理，不久即被任命為公司董事長。自2005年以來，Eyal一直是歐洲分公司的資深管理層一員，擔任資深副總裁，監管服務與支援業務，一直到2019年。他目前在日本TEL全球服務委員會擔任聯合主席。
SEMI智慧製造計畫 (SEMI SMART Manufacturing Initiative) 是一項全球推廣計畫，旨在提升各界對智慧製造的認識與興趣，聚焦於提供產業認可的最佳方案與服務，讓成員能夠將產品品質與生產力最大化，同時降低成本。相關活動著重在建立核心能力，促進微電子供應鏈採取智慧製程。
MADEin4是由來自10國、47家合作伙伴組成的聯盟，涵蓋供應鏈上中下游，包括半導體設備廠、系統整合量測公司、即時作業系統 (RTOS)、以及汽車等重要應用產業。MADEin4計畫旨在研發新世代量測工具、機器學習方法與應用，在產業4.0時代促進半導體製造產業的量產能力。
