目次 | はじめに | PFASとは何か | PFAS規制 | 半導体製造におけるPFAS | PFAS含有コンポーネント | アクション
PFAS規制の種類
多くのPFAS規制が施行中および策定中であり、規制が対象とするトピックに傾向が生じています。1つのトピックを対象とする規制もあれば、複数のトピックを対象とする規制もあります。トピックには以下が含まれています。
| 水路および飲料水中のPFAS | 消費者向けクリーニング製品に含まれるPFAS | 消費者向け医療製品（デンタルフロスなど）に含まれるPFAS | 農地に含まれるPFAS |
| 食品包装に含まれるPFAS | 消火剤に含まれるPFAS | 殺虫剤中のPFAS | 動物用医薬品に含まれるPFAS |
| 繊維製品中のPFAS | 化粧品に含まれるPFAS | 瓶入り飲料水に含まれるPFAS | 工業用食品調理器具中のPFAS |
| 一般製品中のPFAS | スキーワックス中のPFAS | 調理器具中のPFAS | ベビー用品中のPFAS |
また、より大きなPFASファミリーのサブセット（部分集合）に焦点を当てた規制もあります。これには、PFOA、PFOS、PFHxA、フッ素系温室効果ガスなどを制限する規制が含まれます。
PFAS規制の例
以下に、SEMI PFAS WGが監視し、場合によってはアドボカシー活動を通じて修正を求めているPFAS規制のいくつかを挙げます。
| 状況 | 概要 |
Link |
|---|---|---|
| 提案 | 1. EU REACH附属書XVIIによるPFASの一般使用制限。現在の提案では、EUの半導体産業（および他の多くの産業）を操業停止させる可能性が高い。 | |
| 提案 | 2. 新しい米国TSCA PFAS報告・記録規制。企業は2011年まで遡り、その時点から現在までに製造（輸入を含む）されたPFAS物質について報告する必要がある。 | |
| 施行 | 3. 米国メイン州の法律（LD1503）は、PFASを含む製品の報告を義務付け、環境保護局（DEP）が「現在避けられない用途」と判断しない限り、そのような製品を2030年から禁止する。この法令に関する規則は草案が作成されているが、公表はされていない。この法令は多くの懸念を生んでおり、法令を変更するための修正法案がいくつか提出中である。 | |
| 提案 | 4. PFASを含む製品の報告を義務付ける米国ミネソタ州の法令（Minnesota Session Laws - 2023, Regular Session, CHAPTER 60--H.F.No. 2310） |
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| 提案 | 5. PFAS含有製品の報告を義務付ける米国マサチューセッツ州法（S.1356） | |
| 提案 | 6. PFAS含有製品の報告を義務付ける米国ニューヨーク州法（A03571） | |
| 施行 | 7. EU REACH付属書XVIIのPFASサブセット（鎖中に9～14個の炭素原子を含むパーフルオロカルボン酸（C9-C14 PFCAs）、その塩およびC9-C14 PFCA関連物質）の一般使用に関する制限（項目68）。このような物質は、ポリマー中の添加剤やプロセス残留物として、あるいは半導体プロセスケミカルの成分として存在する可能性がある。 | |
| 提案 | 8. PFASのサブセットであるパーフルオロヘキサンスルホン酸（PFHxS）とその塩および関連物質の一般使用に関するEU REACH附属書XVIIの制限。 | |
| 提案 | 9. PFASサブセットであるウンデカフルオロヘキサン酸（PFHxA）、その塩および関連物質の一般的使用に関するEU REACH附属書XVIIの制限。このような物質は、ポリマー中の添加剤やプロセス残留物として、あるいは半導体プロセスケミカルの成分として存在する可能性がある。 | |
| 施行 | 10. EU REACH附属書XVII規制として始まったが、EUの残留性有機汚染物質（POPs）規則に移行し、パーフルオロオクタン酸（PFOA）、その塩およびPFOA関連化合物の一般使用を制限。このような物質は、ポリマーやコーティング剤の添加剤やプロセス残留物として存在する可能性がある。半導体プロセスケミカルの成分としては、もはや存在しないと思われる。 | |
| 施行 | 11. PFASのサブセットである長鎖パーフルオロアルキルカルボン酸およびパーフルオロアルキルスルホン酸化学物質（LCPFAC）の一般使用に関する米国TSCA重要新規利用規則（SNUR）。これは、PFOAといくつかの類似物質を含むリストベースの制限であり、多くの使用事例の除外がある。 | |
| 施行 | 12. EU REACH附属書XVII規則として始まったが、EUの残留性有機汚染物質（POPs）規則に移行し、パーフルオロオクタンスルホン酸およびその誘導体（PFOS）の一般使用を制限。このような物質は、部品や半導体プロセスケミカルの成分としてはもはや存在しないと思われる。 | |
| 提案 | 13. TSCA化学物質インベントリに「不活性」と記載されているPFASに関する米国TSCA SNUR。 | |
| 施行 | 14. シンガポールのPFOA制限。「プラスチック」と「潤滑剤」は除外されるが、接着剤は除外されない。NEA（国家環境局）の審査・承認後、企業ごとに例外を認めることができる。 | |
| 否決 | 15. PFAS含有製品の報告を義務付ける米国カリフォルニア州法（AB2247） |
飲料水、泡消火剤、化粧品などに関連するPFAS規制は他にも数多くあります。
フッ素系の温室効果ガス（FガスまたはGHG）やオゾン層破壊物質（ODS）に関連する規制でもPFASの一部を対象にしており、PFAS規制の一種でありますが、上記のリストには含まれていません。
半導体製造および関連する半導体化学・装置製造工場も、PFASを考慮した排水規制の対象となる可能性があります。
規制対象のPFAS濃度については、こちらをご確認ください。
注意：SEMIは、このWebページに含まれる情報の正確性または有用性について、いかなる保証も表明も行いません。正確性については、利用者ご自身の責任においてのみご確認ください。利用者は、ここに記載されている主題に関する他の関連文献を参照するよう注意してください。この情報は予告なしに変更されることがあります。この「PFAS Explainer」はSEMI PFAS WGのメンバーによって作成されました。改善のご提案は[email protected]までお寄せください。