目次 | はじめに | PFASとは何か | PFAS規制 | 半導体製造におけるPFAS | PFAS含有コンポーネント | アクション
SEMI PFASミッション・ステートメント
SEMIはPFASに関する正当な懸念を認識しています。PFASは現代生活に不可欠な要素です。SEMIメンバー企業は、社会が十分に機能するのに不可欠な半導体産業において、責任をもってPFASを使用すること、そして、必須用途ではないPFASを実用可能なスケジュールで産業から排除することに専念しています。
多くの管轄区域は、一般的な技術がいかにPFAS物質に依存しているか、PFASがいかに非常にユニークな（そして現在必要不可欠な）技術的ニッチを満たしているか、そしてPFASがいかに半導体製造、半導体製造装置、半導体産業のサプライチェーン全体、そして技術全般に広く使用されているかを完全に理解することなく、多くの管轄区域がPFASの使用を制限し、PFASの輸入報告を義務付けることを目指しているようです。現時点では、サプライチェーンの複数の箇所とサプライチェーンの複数の用途でPFASを利用できなければ、半導体チップと関連デバイスを製造できません。医療、自動車、家電、航空、その他の分野でもPFASへの同様の依存が見られます。
半導体製造産業の対応
PFASは、長年にわたり半導体産業の技術開発を可能にしてきました。PFASが半導体製造プロセスに存在する基本的な方法を理解することが重要です。
- PFASは、液状フォトレジスト、エッチングチャンバーガス、それらを入れる容器など、半導体および関連デバイスの製造に直接使用される化学物質中に存在する可能性があります。
- PFASは、半導体製造工場の純水配管システムや、計測機器のデータバックアップに使用されるリチウム電池の中など、半導体の製造に直接使用される装置に存在する可能性があります。その他にも何千もの使用事例があります。
- PFASは、マイクロプロセッサチップの樹脂パッケージ内など、製造プロセスのアウトプットである半導体および関連デバイスに存在する可能性があります。
- PFASは、ウェーハめっきシステム用のシリコン部品を製造するために使用されるCNC（コンピュータ数値制御）マシン、EUV露光システム用の高純度水素を製造するために使用される化学精製システムなど、半導体製造で直接使用されるコンポーネントおよび化学物質を製造するために使用される装置に存在する可能性があります。
これらの基本的な使用方法の中には、何百（何千とは言わないまでも）もの使用事例があり、それぞれが産業界で使用される個々のコンポーネントや製品を通して何千回も繰り返されるため、結果として何十万から何百万もの個々の設計実例が存在することになります。
いくつかのPFAS（PFOAやPFOSなど）は、すでに多くの管轄区域で規制されていますが、一律に規制されているわけではありません。半導体産業は、これらのPFASが規制されている管轄区域での直接使用をすべて中止し、コンプライアンスを確保するため、より深いサプライチェーンの調査を続けています。
すべてのPFASを制限することへの関心が高まり、製品中のPFAS含有量を報告することが求められていることから、実行可能で安全かつ長期的なPFAS代替物質の調査が加速し、いくつか成功を収めています。
半導体産業の活動には以下のようなものがあります。
- SEMI PFAS WGは、当初PFAS物質のPFOAグループの懸念と用途を理解するために結成されたが、欧州の規制と、最近可決された、あるいは現在策定中の多くの米国州法と連邦法に焦点を当てたWGへと拡大した。その他の成果としては、当WGは、EU REACH規則の下で提案されている広範囲なPFAS制限に関するEUの公開協議に対して、セクターとしての回答を提供している。
- 半導体製造におけるPFASの使用用途について世界に向けて情報提供し、また、代替物質を調査するため、米国半導体工業会（Semiconductor Industry Association, SIA）の傘下に半導体PFASコンソーシアムが結成された（semiconductors.org/pfasを参照のこと）。半導体PFASコンソーシアムは、これらの目標に向けて多くのホワイトペーパーを作成している（詳細は本ウェブページの下を参照のこと）。
世界半導体会議（World Semiconductor Council, WSC）には、PFOAやその他のPFASから脱却するという長年のコミットメントがあります（参考：www.semiconductorcouncil.org）。
SEMI PFAS Working Group － ご参加をご検討ください －
SEMI WGは、多くのSEMI会員企業のメンバーで構成され、SEMIスタッフのガイダンスと支援を受けて活動しています。SEMIまたはSEMI PFAS WGへの参加をご希望の方は、[email protected]までご連絡ください。
半導体PFASコンソーシアムホワイトペーパー
米国半導体工業会（SIA）は半導体PFASコンソーシアムを結成し、半導体産業におけるPFASの用途を調査・文書化し、どのような用途が必須で、どのような用途がPFASでない代替物質で満たすことができるかについての情報をまとめています。半導体PFASコンソーシアムの2023年の主な成果は、一連のホワイトペーパーです。
ホワイトペーパーのひとつ、「リナ・ホワイトペーパー」として知られている「半導体セクターへのPFAS制限の影響」というタイトルのホワイトペーパーは、2023年頃までに理解されているこの情報を要約しています。このホワイトペーパーは、こちらからダウンロードできます。
同じリンクから入手可能な、PFASに焦点を当てたホワイトペーパーは次の通りです。
- 「半導体製造とPFASの背景」
- 「半導体製造に使用されるPFAS含有潤滑剤」
- 「半導体製造組立テストパッケージングおよびサブストレートプロセスで使用されるPFAS含有材料」
- 「半導体製造に使用されるPFAS含有ウェットプロセス用化学物質」
- 「半導体製造に使用されるPFAS含有界面活性剤」
- 「半導体製造に使用される短鎖PFAS含有材料へのPFOSおよびPFOAの転換」
その他のホワイトペーパーは、入手可能になり次第、ここに掲載します。
注意：SEMIは、このWebページに含まれる情報の正確性または有用性について、いかなる保証も表明も行いません。正確性については、利用者ご自身の責任においてのみご確認ください。利用者は、ここに記載されている主題に関する他の関連文献を参照するよう注意してください。この情報は予告なしに変更されることがあります。この「PFAS Explainer」はSEMI PFAS WGのメンバーによって作成されました。改善のご提案は[email protected]までお寄せください。