目次 | はじめに | PFASとは何か | PFAS規制 | 半導体製造におけるPFAS | PFAS含有コンポーネント | アクション
本ウェブページには、次のことが記載されています。
- 規制対象のPFAS濃度
- 規制当局によるPFAS規制の定義
- SEMIのPFAS定義
- PFASのリスト
- PFASフルオロポリマーの名称
規制対象のPFAS濃度
上記の規制では、規制対象濃度（CRI）は、PFASの完全な禁止（すなわち、PFASの意図的な添加濃度を認めない）から、単一のPFAS物質で25ppb（0.0000025%）、またはすべてのPFAS物質の合計で数百（ppb）の濃度までさまざまです。
一例として、REACH 規則で提案されている欧州の広範なPFAS規制は、物質、混合物、成形品に対して以下のような基本規制を設けています。
- ターゲットPFAS分析で測定されたあらゆるPFASに対して25 ppb（高分子PFASは定量化から除外される）。
- ターゲットPFAS分析の合計として測定されたPFASの合計について、任意で前駆体の事前の分解を伴って250 ppb（polymeric PFASs excluded from quantification ポリマーPFASは定量から除外される）。
- PFASsについて50ppm（高分子PFASを含む）。総フッ素量が50 mg F/kgを超える場合、製造者、輸入者、または川下使用者は、要求に応じて、PFASまたは非PFASのいずれかの含有量として測定されたフッ素の証拠を施行当局に提出しなければならない。
濃度を考慮すると、濃度の分母も変化することに注意することが重要です。欧州では、構成部品に適用される規制は通常 「articles」であり、欧州司法裁判所の2015年の 「once an article always an article」 解釈に従うと、これは大まかに言って、商業上分離して存在したことのある構成部品の個々の部分を意味する–単純なポテンショメータは、20個程度の個々の成形品で構成することができます。米国では、EPAは 「article」 という用語を、市場に置かれている品目の意味で使用しています。―同じポテンショメータは、1つの単一の成形品と見なされます。｛水質規則では関心度が非常に低い｝
規制当局によるPFAS規制の定義
残念ながら、これらすべての規制では共通のPFASの定義を共有していませんが、定義にも傾向が現れています。ここでは、より注目すべき定義をいくつかをここに示します。同じ管轄区域内でも（そして同じ管轄機関内でも）、定義が必ずしも同じではないことに注意してください。
| 定義の出所 | 定義 |
|---|---|
| EU REACH規則案の一般的なPFAS制限 |
少なくとも1つの完全にフッ化メチル（CF3-）またはフッ化メチレン（-CF2-）炭素原子（H/Cl/Br/Iが結合していない）を含む物質。
［この定義には、このような更なる範囲の限定があり、法的にPFASの定義の一部とみなされるかどうかは不明である。］ 以下の構造要素のみを含む物質は、制限の範囲から除外される。 CF3-X or X-CF2-X’, where X = -OR or -NRR’ and X’ = methyl (-CH3), methylene (-CH2-), an aromatic group, a carbonyl group (-C(O)-), -OR’’, -SR’’ or –NR’’R’’’; and where R/R’/R’’/R’’’ is a hydrogen (-H), methyl (-CH3), methylene (-CH2-), an aromatic group or a carbonyl group(-C(O)-). |
| 泡消火剤中のPFASに関するEU REACH制限案 | フッ化メチル（CF3）またはフッ化メチレン（CF2）炭素原子を少なくとも1つ含む物質（H/Cl/Br/Iが結合していないもの）。 |
| EPAのPFAS報告規則案 | 構造的にR-(CF2)-C(F)(R′)R″を含む化学物質または混合物。CF2 および CF 部分はいずれも飽和炭素である。R基（R、R′、R″）はいずれも水素であってはならない。 |
| EPAの活性でない化学物質に対するSNUR案 |
(i) R-(CF2)-CF(R′)R″、ここでCF2およびCFの両部分は飽和炭素である。 (ii) R-CF2OCF2-R′、ここでRおよびR′は、F、O、または飽和炭素のいずれかであり得る。 (iii) CF3C（CF3）R′R″、ここで、R′およびR″は、Fまたは飽和炭素のいずれかであり得る。 |
| メイン州PFAS報告および制限法 | 少なくとも一つの完全にフッ素化された炭素原子を含むフッ素化有機化学物質の類のいずれかを含む物質。 |
| ニューヨーク州のPFASの報告および制限に関する法案 | 少なくとも一つの完全にフッ素化された炭素原子を含むフッ素化有機化学物質の類のいずれかを含む物質。 |
PFAS規制の中には、米国有害物質規制法（TSCA）重要新規利用規則（SNUR）のように、40CFR721.10536にある長鎖パーフルオロアルキルカルボン酸塩およびパーフルオロアルキルスルホン酸塩化学物質（LCPFAC）など、特定のPFAS物質リストに範囲を限定しているものもあります。
SEMIのPFAS定義
SEMIのメンバーは、半導体産業協会と協力して、半導体産業で使用されているPFASの特定に努めているため、PFASのかなり広範な定義を使用しています。
-CF2-および/または-CF3を有する分子を含むすべての化学物質および材料。
PFASのリスト
この定義に従ったPFASの単一のリストはありません。しかし、米国環境保護庁（EPA）には、https://comptox.epa.gov/dashboard/chemical-lists/PFASMASTERで入手可能なPFASの「リスト一覧」があります。一部のPFASは、そこに示されている10のリストのうちの1つ以上に掲載されています。合計で、リストの中には12,000以上の固有の物質があります。EPAがリストに使用しているPFASの定義は明確ではありませんが、SEMIやほとんどの米国の州で使用されているPFASの定義よりも狭い可能性があります。
PFASフルオロポリマーの名称
前述の通り、フルオロポリマーはPFASです。フッ素ゴム（フルオロエラストマー）もPFASです。コンポーネントにPFASを使用する場合、製造業者の図面の材料仕様欄に、一般名ではなくフルオロポリマーの商品名が記載されていることがあります。例えば、PTFEや「15％ガラス繊維強化PTFE」ではなく、「Teflon」や「Efalon」と表示されている場合があります。したがって、フルオロポリマーとフルオロエラストマーの商品名と一般名をよく理解しておくことが重要です。
以下に、フルオロポリマーとフルオロエラストマーのIUPAC名（および一般名）と商品名を示します。
| 一般的なフルオロポリマーとフルオロエラストマー － IUPAC/一般名 （すべてPFAS） |
分子構造 | ||||
|
--- フルオロポリマー --- |
|||||
| 略語 | 名称 | CAS登録番号 | 分子式 |
Index |
|
|
ECTFE |
エチレンクロロトリフルオロエチレン |
25101-45-5 |
(CF2-CFCl-C2H4)n |
A |
|
|
ETFE |
テトラフルオロエチレン |
25038-71-5 |
(C2H4-C2F4)n |
B |
|
|
FEP |
フッ素化エチレンプロピレン |
25067-11-2 |
((C2F4)n + (C2F3-CF3)m) |
C |
|
|
PCTFE |
ポリクロロトリフルオロエチレン |
9002-83-9 |
(C2F3-Cl)n |
D |
|
|
PFA |
パーフルオロアルコキシアルカン |
26655-00-5 |
((C2F4)n + (C2F3-(O-CF3)m) |
E |
|
|
PTFCE |
PCTFE参照のこと。 | ||||
|
PTFE |
ポリテトラフルオロエチレン |
9002-84-0 |
(C2F4)n |
F |
|
|
PVDF |
ポリフッ化ビニリデン |
24937-79-9 |
(CH2-CF2)n |
G |
|
|
PVF |
ポリフッ化ビニル |
24981-14-4 |
(C2H3F)n |
H |
|
|
--- フルオロエラストマー（フッ素ゴム） --- |
|
||||
|
FKM |
|
||||
|
FFKM |
|||||
|
FPM |
|||||
|
FFPM |
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以下の商品名リストは、特定のフルオロポリマー製品の発明者が、その製品の製造や販売を他社にライセンス供与している場合もあることを示しています。
また、商品名の中には、フルオロポリマーの非常に大きなファミリーを表すものもあり、ファミリー内に多くのサブグレードがある場合もあります。
注意：SEMIは、このWebページに含まれる情報の正確性または有用性について、いかなる保証も表明も行いません。正確性については、利用者ご自身の責任においてのみご確認ください。利用者は、ここに記載されている主題に関する他の関連文献を参照するよう注意してください。この情報は予告なしに変更されることがあります。この「PFAS Explainer」はSEMI PFAS WGのメンバーによって作成されました。改善のご提案は[email protected]までお寄せください。