目次 | はじめに | PFASとは何か | PFAS規制 | 半導体製造におけるPFAS | PFAS含有コンポーネント | アクション
本ウェブページには、次のことが記載されています。
- PFAS含有コンポーネント
- 稀な事例
- コンポーネントクラス
PFAS含有コンポーネント
SEMIと半導体PFASコンソーシアムの双方は、ハードウェア（「成形品」としても知られている）におけるPFAS（またはPFAS部分集合）の使用を数年間調査してきたWorking Groupを有しています。以下の図は、非常に高いレベルで、PFASが見つかる成形品のタイプを示しています。
- この図における成形品の種類の言及は、成形品の種類がPFASを含む可能性が高いことを意味し、その種類の全ての成形品がPFASを含むことを意味していない。
- グリースや冷媒のようなPFAS物質、またはPFASを含む混合物を成形品の中（または上）に添加すると、その成形品はPFASを含む成形品になるという事実を強調するために、容器に入れられたPFASを含む混合物の3つの例が示されている（青い点で示されている）。しかしながら、容器詰め物質および混合物（コンテナライズドケミカル）は、通常、成形品とは区別して規制される。
「コンポーネント」という用語は、装置メーカーが製品を製造するための部品表の最低レベルに位置する取得部品を意味します。コンポーネントには、ケーブルタイのような単純なものから、ウェハーハンドリングロボットシステムのような複雑なものまであります。装置メーカーが部品表を管理する組立品は、コンポーネントではありません。「成形品」は、本質的に、ある時点で独立して存在したハードウェアの一部です。コンポーネントも成形品です。「部品」は、より広い意味を持ち、コンポーネント、コンポーネントの組立品、時にはコンポーネント内の品目に使用されます。
稀な事例
少量の様々なPFAS物質が、成形品、混合物、および様々な工業プロセスからの物質中に生じる可能性があります。新たなPFASの寄与は、最初は小さすぎて問題にならないと見なされてしまうかもしれませんが、規制当局が関心を持つ濃度は数ppbになり得るという事実を慎重に検討する必要があります。以下にいくつかの例を挙げます。
コンポーネントのクラス
コンポーネントとPFASを考える場合、装置メーカーはコンポーネントを3つの基本的なグループに整理することが有効です。
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