SEMIスタンダードがチップ製造の持続可能性を推進
By James Amano, SEMI
長い歴史の中で、環境の持続可能性は、半導体製造におけるプロセスの効率性に背を向けてきました。気候変動の影響が大きくなるにつれて状況は変化しており、チップ業界は、コスト削減と環境への負荷低減の両方を目指してエネルギー消費を削減するという圧力の高まりに直面しています。業界は、SEMIスタンダード活動で進行中の複数の取り組みに支えられて、この要請に応えています。
台湾と米国では、大規模で成長中の工場があり、半導体製造施設を維持するための水源確保は容易ではなくなってきています。特に半導体産業にとっての第一の課題は、一貫した信頼できる節水方法とその解決策を開発することであり、同時に工場の効率を向上させる努力を続けることです。最近公表された2つのSEMIスタンダードがこの問題の解決に貢献し、水の管理と保全のための高水準の勧告を提供しています。 – SEMI F116, Guide for Drain Segregation for Semiconductor Manufacturing Tools to Support Site Water Reuse（敷地の水の再利用をサポートする半導体製造装置のドレイン分離のためのガイド）と、SEMI F98, Guide for Treatment of Reuse Water in Semiconductor Processing（半導体工程における再使用水処理ガイド）の改訂です。これら2つのスタンダードは、新規および改良された水システムの計画中に実施されるように設計されており、意思決定を合理化し、施設が運用と建設の課題に対応できるようにすることを約束しています。
SEMI S23, Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment（半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、および材料の保存に関するガイド）は2005年に初めて出版され、半導体製造装置用のエネルギー、ユーティリティ、および材料の効率的な使用に関するガイダンスを提供しています。半導体製造装置はかなりの量の熱を発生し、水は一般的に冷却に使用され、加熱された水は冷却によって熱交換器を通して除去され、再利用のために施設にポンプで戻されます。S23の最近のアップデートでは、エネルギー消費を最小限に抑え、ユーティリティコストを削減するために、冷却システムの使用を排除しながら熱を除去するタワー冷却水(PCW-T)プロセスが導入されています。
プロセスツールの電力消費の低減も懸念されています。過去にも記載したように、Energy Saving Equipment Communications(ECEC)Task Forceによって開発された規格 (SEMI E167 - Specification for Equipment Energy Saving Mode Communications（機器省エネモード通信仕様）および SEMI E175 - Specification for Subsystem Energy Saving Mode Communication（サブシステム省エネモード通信仕様）は、ツールが処理されていないときに、その後のウエハ処理効率を損なうことなく、ファブがエネルギーを節約し、ガス/ユーティリティコストを低減するのに役立ちます。E167とE175の採用を増やすために、ECSECタスクフォースは世界中の工場から情報を集めており、これらの勧告を将来のアップデートに組み込む予定です。
こうした努力が実を結び始めています。SEMI会員企業の数社は、事業およびサプライチェーンからの温室効果ガス排出量を削減するための取り組みを示した後、炭素開示計画によって「最高のリーダーシップ」と評価されました。さらに、SEMI会員企業はダウジョーンズ・サステナビリティ基準に基づいて世界の主要なビジネスをリードするダウ・ジョーンズ・サステナビリティ・インデックスに含まれています。
SEMI会員の皆様の多大なご尽力に深く感謝するとともに、環境の持続可能性への取り組みを高く評価します。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。
参加をご希望の際は、SEMIインターナショナルスタンダードプログラム www.semi.org/standardsmembership. よりご登録をお願いします。
詳細につきましては、 SEMIスタンダードの Webサイト また最新イベントページをご参照ください。SEMIスタンダード活動についてご質問がございましたら、SEMIスタンダード担当者 までお問い合わせください。
Standards Watch
SEMI
www.semi.org
September 2, 2021