SEMI University日本版にて公開継続中です。
これまでこちらのページでご案内していたSEMIチュートリアルの内容は、2024年6月から「SEMI University日本版」にて公開を継続しています。
新しいeラーニングプラットフォームを通じて、常時、お申し込みを受け付けています。
「GEM300」セミナー
300mm半導体製造装置では半導体製造工場において、キャリア（FOUP）、ロードポート、自動搬送（AMHS）などのシステムが標準化されました。このシステムの一環として、GEM300は通信により半導体製造装置を自動運転するための制御と管理の標準仕様を定義しています。
このセミナーでは、GEM300に含まれる以下のSEMI ソフトウェアスタンダードを体系的にわかりやすく解説します。
- キャリア管理（CMS）：SEMI E87
- プロセス管理（PJM）：SEMI E40
- コントロールジョブ管理（CJM）：SEMI E94
- 基板トラッキング（STS）：SEMI E90
- オブジェクトサービス（OSS）：SEMI E39
講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード Information & Control 委員会*のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。
*Information & Control （略称：I&C） 情報と制御の委員会 （ホストとの通信による半導体製造装置の自動化、および様々なデータ管理のスタンダード化を検討、提案、決定する委員会）
※本セミナーは2022年、2023年に配信したセミナーと同内容になります。
対象者
- 半導体製造 CIM（Computer Integrated Manufacturing）システムの技術者
- 装置のコンピュータ・コントロールの技術者
- 関連のソフトウェア開発者
- 関連技術の企画者、管理者
※GEM300セミナーの参加者はSECS/GEMの基礎知識をお持ちの方を想定させていただきます。
対象範囲
当セミナーの範囲は、図の赤枠内です。
「SECS/GEM」については、別セミナーで解説いたします。
詳しくはこちら
ダイジェスト動画
今までの実用化された装置と製造ラインのシステムの経験を基に、GEM300 の定義する仕様、GEM300に含まれるSEMI ソフトウェアスタンダードをスタンダード開発の中心メンバーである講師陣が、体系的にわかりやすく解説しました。
例年人気のセミナーを2022年もオンデマンド講座として開催しました。製造装置メーカーの方を中心に100名以上の方に受講いただきました。
※こちらは、本セミナーのサンプル動画です。
SEMI チュートリアル
SEMIソフトウェアスタンダード
「GEM300」セミナー
半導体製造装置の300MM自動化スタンダードの解説
動画視聴時間：約8時間
プログラムチェア：横河デジタル株式会社 八巻 貴夫 氏
参加費：SEMI会員 28,600円、一般 47,300円（消費税込）
注意事項：
- 本セミナーのテキストは、PDFでダウンロード頂く形式です。冊子での配布はございませんのでご了承下さい。
- 配布資料にSEMI E5などのスタンダード本体は含まれません。
- このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、ご了承ください。
セミナー講師
アジェンダ
過去のセミナー実績報告はこちら
- 2022年8月と10月（各動画配信期間2か月間）オンラインにて開催しました。
- 2021年9月（動画配信期間1か月間）オンラインにて開催しました。
- 2019年6月21日 SEMIジャパン オフィス（市ヶ谷）にて開催しました。
- 2018年6月27日 SEMIジャパン オフィス（市ヶ谷）にて開催しました。
