「GEM300」セミナー講師
今までの実用化された装置と製造ラインのシステムの経験を基に、GEM300 の定義する仕様、GEM300に含まれるSEMI ソフトウェアスタンダードをスタンダード開発の中心メンバーである講師陣が、体系的にわかりやすく解説しました。例年満席となります人気のセミナーを2021年はオンデマンド講座として初開催されました。製造装置メーカーの方を中心に80名以上の方に聴講頂きました。
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※2022年の情報（申込案内含む）に関しては、こちらよりご確認ください。
GEM300セミナー
300mm半導体製造装置では半導体製造工場において、キャリア（FOUP）、ロードポート、自動搬送（AMHS）などのシステムが標準化されました。このシステムの一環として、GEM300は通信により半導体製造装置を自動運転するための制御と管理の標準仕様を定義しています。
このセミナーでは、GEM300に含まれる以下のSEMI ソフトウェアスタンダードを体系的にわかりやすく解説します。
- キャリア管理（CMS）：SEMI E87
- プロセス管理（PJM）：SEMI E40
- コントロールジョブ管理（CJM）：SEMI E94
- 基板トラッキング（STS）：SEMI E90
- オブジェクトサービス（OSS）：SEMI E39
講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード Information & Control 委員会*のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。
*Information & Control （略称： I&C） 情報と制御の委員会 （ホストとの通信による半導体製造装置の自動化、および様々なデータ管理のスタンダード化を検討、提案、決定する委員会）
対象者
- 半導体製造 CIM(Computer Integrated Manufacturing)システムの技術者
- 装置のコンピュータ・コントロールの技術者
- 関連のソフトウェア開発者
- 関連技術の企画者、管理者
※なお、GEM300セミナーの参加者はSECS/GEMの基礎知識をお持ちの方を想定させていただきます。
対象範囲
当セミナーの範囲は、図の赤枠内です。
「SECS/GEM」セミナーについては別セミナーで解説いたします。
「SECS/GEM」セミナーの詳細はこちら
セミナー概要
SEMI チュートリアル
SEMIソフトウェアスタンダード
「GEM300」セミナー 2021
半導体製造装置の300MM自動化スタンダードの解説
動画配信期間： 2021年9月1日 (水) 10：00～ 9月30日 (木) 17：00
動画視聴時間：約8時間
申込締切：2021年8月25日 (水)
配信方式：オンデマンド形式
会期中はいつでもアクセス頂き、動画を視聴頂く事が可能です。
プログラムチェア：座間コンサルティング 坂本 見恒 氏
参加費 :
SEMI会員企業の方（1名様につき）：22,000円（うち消費税等 2,000円）
一般（非会員企業）の方（1名様につき）：35,200円（うち消費税等 3,200円）
注意事項：
- 本セミナーのテキストは、PDFでダウンロード頂く形式です。冊子での配布はございませんのでご了承下さい。
- 配布資料にSEMI E5などのスタンダード本体は含まれません。
- このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、ご了承ください。
アジェンダ
講師紹介 |
|
GEM300 スタンダード概要 |
座間コンサルティング 坂本 見恒 氏 |
キャリア管理（CMS）
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日本エー・エス・エム株式会社 高崎 義久 氏 |
キャリア管理（CMS）
|
日本エー・エス・エム株式会社 高崎 義久 氏 |
プロセス管理（PJM）
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横河ソリューションサービス株式会社 八巻 貴夫 氏 |
コントロールジョブ管理（CJM）
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横河ソリューションサービス株式会社 八巻 貴夫 氏 |
基板トラッキング（STS）
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株式会社日立ハイテク 豊島 優子 氏 |
オブジェクトサービス（OSS）
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株式会社日立ハイテク 豊島 優子 氏 |
GEM300まとめ |
日本エー・エス・エム株式会社 高崎 義久 氏 |