SEMIチュートリアル SEMIソフトウェアスタンダード「GEM300」セミナー2022実績報告

半導体製造装置の300MM自動化スタンダードの解説

「GEM300」セミナー講師

ダイジェスト動画

今までの実用化された装置と製造ラインのシステムの経験を基に、GEM300 の定義する仕様、GEM300に含まれるSEMI ソフトウェアスタンダードをスタンダード開発の中心メンバーである講師陣が、体系的にわかりやすく解説しました。
例年満席となります人気のセミナーを2022年もオンデマンド講座として開催しました。製造装置メーカーの方を中心に100名以上の方に聴講頂きました。

_{※こちらのダイジェスト動画は2021年版となります。}

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GEM300セミナーとは

300mm半導体製造装置では半導体製造工場において、キャリア（FOUP）、ロードポート、自動搬送（AMHS）などのシステムが標準化されました。このシステムの一環として、GEM300は通信により半導体製造装置を自動運転するための制御と管理の標準仕様を定義しています。
このセミナーでは、GEM300に含まれる以下のSEMI ソフトウェアスタンダードを体系的にわかりやすく解説します。

キャリア管理（CMS）：SEMI E87
プロセス管理（PJM）：SEMI E40
コントロールジョブ管理（CJM）：SEMI E94
基板トラッキング（STS）：SEMI E90
オブジェクトサービス（OSS）：SEMI E39

講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード Information & Control 委員会*のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。

_{*Information & Control （略称： I&C）情報と制御の委員会（ホストとの通信による半導体製造装置の自動化、および様々なデータ管理のスタンダード化を検討、提案、決定する委員会）}

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対象者

GEM300対象範囲

半導体製造 CIM（Computer Integrated Manufacturing）システムの技術者
装置のコンピュータ・コントロールの技術者
関連のソフトウェア開発者
関連技術の企画者、管理者

※なお、GEM300セミナーの参加者はSECS/GEMの基礎知識をお持ちの方を想定させていただきます。

対象範囲

当セミナーの範囲は、図の赤枠内です。

「SECS/GEM」セミナーについては別セミナーで解説いたします。
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2022 開催概要