SEMI University日本版にて公開継続中です。
これまでこちらのページでご案内していたSEMIチュートリアルの内容は、2024年6月から「SEMI University日本版」にて公開を継続しています。
新しいeラーニングプラットフォームを通じて、常時、お申し込みを受け付けています。
「SECS/GEM」セミナー
SECS（SEMI Equipment Communication Standard) およびGEM (Generic Equipment Model）は半導体製造工場での装置運用の自動化、または装置からのデータを収集するための基本的な標準通信インターフェースを規定しています。
このセミナーでは、SECSとGEMを実際に適用していただけるようにするために、以下のスタンダードを体系的にわかりやすく解説します。
- メッセージ伝送規約 HSMS: SEMI E37/SEMI E37.1
- メッセージ内容規約 SECS-Ⅱ: SEMI E5
- GEM（SEMI E30） 規約の概要
- GEM の基本要求
- GEM 追加性能
講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード Information & Control 委員会*のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。
*Information & Control （略称： I&C） 情報と制御の委員会 （ホストとの通信による半導体製造装置の自動化、および様々なデータ管理のスタンダード化を検討、提案、決定する委員会）
※本セミナーは2023年に配信したセミナーと同内容になります。
対象者
- 半導体製造 CIM(Computer Integrated Manufacturing)システムの技術者
- 装置のコンピュータ・コントロールの技術者
- 関連のソフトウェア開発者
- 関連技術の企画者、管理者
対象範囲
当セミナーの範囲は、図の赤枠内です。
300mmの通信スタンダード（GEM300）は、別セミナーで解説いたします。
「GEM300」セミナーの詳細はこちら
ダイジェスト動画
半導体製造前工程で必須のSEMI通信スタンダード「SECS/GEM」をスタンダード開発の中心メンバーである講師陣が、開発や改訂の背景を踏まえて、図を中心に体系的にわかりやすく解説しました。
例年大変人気のセミナーを2023年もオンデマンド講座として開催しました。
製造装置メーカーの方を中心に150名以上の方に受講いただきました。
※こちらは、本セミナーのサンプル動画です。
SEMI University日本版にて公開中
SEMIソフトウェアスタンダード
「SECS/GEM」セミナー
工場システム／半導体製造装置間の通信スタンダードの基本の解説
動画視聴時間：約8時間
プログラムチェア：東京エレクトロン株式会社 望月 唯史 氏
参加費 ：SEMI会員 28,600円、一般 47,300円（消費税込）
注意事項：
- 本セミナーのテキストは、PDFでダウンロード頂く形式です。冊子での配布はございませんのでご了承下さい。
- 配布資料にSEMI E5などのスタンダード本体は含まれません。
- このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、ご了承ください。
セミナー講師
アジェンダ
過去のセミナー実績報告はこちら
- 2022年8月と10月（各動画配信期間2か月間）オンラインにて開催しました。
- 2021年9月（動画配信期間1か月間）オンラインにて開催しました。
- 2019年6月20日 SEMIジャパンオフィス（市ヶ谷）にて開催いたしました。
- 2018年6月26日 SEMIジャパンオフィス（市ヶ谷）にて開催いたしました。
