Anshu Bahadur, Karim Somani & Paul Carey

SEMIのワークショップにて、エッジAIとスマートセンサーを活用した次世代半導体製造の展望が議論されました。半導体デバイスの微細化が進む中、歩留まり向上やダウンタイム削減を実現するには、データ発生源におけるリアルタイムなAI推論が不可欠となっています。具体的には、先進センサーを用いた高度なプロセス制御や迅速な欠陥検出、5Gを活用した自律的な工程間搬送、そしてマルチモーダルセンサーによる予知保全の重要性が紹介されました。