2026-10-22
SEMI 반도체계측검사기술교육은 AI 시대의 반도체 산업 변화와 함께 더욱 중요해지고 있는 Metrology & Inspection (MI) 기술을 중심으로, 반도체 제조 공정의 핵심인 Metrology, Inspection, Analysis 기술을 심도 있게 다루는 전문 교육입니다. 본 과정에서는 AI가 이끄는 사회 변화와 반도체 기술의 중요성을 살펴보고, 반도체 연구 및 제조 분야에서 MI 기술의 역할과 미래 기술 발전 방향을 조망합니다. 이어 반도체 MI 기술의 원리와 최신 기술 동향을 소개하며, 광학, e-beam등 다양한 검사 계측 장비의 측정 원리와 Pattern Profile, Overlay 분석, 3D 구조 분석을 위한 in-line 분석법 및 영상응용계측기술 등을 다룹니다. 또한 업계 전문가들의 실무 중심 강의를 통해 현업 MI 엔지니어는 물론 반도체 분야 진출을 준비하는 인재들에게 전문 지식과 실무 역량을 제공합니다.
시간
9:00 오전 - 4:40 오후 KST
위치
대한민국
수원컨벤션센터
OVERVIEW
- 교육명: SEMI 반도체계측검사기술교육 2026
- 일정: 2026년 10월 22일(목) 오전 9시 – 오후 4시 40분
- 장소: 수원컨벤션센터 103 + 104호
- 주최: SEMI Korea
NOTICE
- 참석확인증은 SEMI Korea 통합등록사이트(www.semikrprogram.com)에서 사후설문조사를 완료하시면 발급됩니다.
- 등록비에는 교재비가 포함되어 있으며 당일 현장에서 수령하실 수 있습니다.
- 점심식사 및 주차비는 제공되지 않습니다.
- 교육내용 및 순서는 강사 사정에 의하여 임의로 변경될 수 있습니다.
- 본 교육은 고용노동부 환급과정이 아닙니다.
CONTACT
- 문의: SEMI Korea 프로그램팀 ([email protected])
아젠다
등록확인
Overview of MI
[AI가 이끄는 사회 변화와 반도체 산업 MI기술의 방향성]
본 강의는 1부와 2부로 구성되었고, 1부에서는 AI가 이끄는 사회변화를 다양한 관점에서 살펴보고, 이 변화속에서 반도체 기술이 갖는 의미와 중요성을 함께 고민해보고자 합니다. 이후에 2부에서는 반도체 연구 및 제조 분야에서 Metrology & Inspection(MI) 기술의 역할과 기술 개발 방향성에 대한 종합적인 이해 돕고자 합니다. 마무리로, 제조현장의 엔지니어가 갖추어야 할 역량에 대해서 강사의 사견을 표하고 강의를 마무리하고자 합니다.
1부
• 사회변화 : 인공지능 출현 후 사회변화
• AI 기술혁명을 이끄는 반도체
2부
• 반도체Metrology & Inspection 기술 역할
• 반도체 산업 MI기술의 방향성
Break
Metrology
본 Tutorial 강의에서는 반도체 제조 공정에서의 계측(Metrology) 기본 원리와 활용 방법을 체계적으로 설명합니다. 광학, e-Beam(CD-SEM, HV-SEM) 등 주요 계측 장비의 측정 원리와 특성, 선택 기준을 다룹니다. 또한 Pattern Profile 분석, Overlay 분석 등 주요 계측 응용 사례를 소개하여, 전반적인 반도체 계측 공정에 대한 이해도를 높입니다. 또한, 차세대 반도체 공정에서 준비해야 할 차세대 미래 계측 과제와 대응 전략을 해설합니다.
Lunch
Inspection
Break
Analysis
최근 소재 개발과 EUV 리소그래피 기술의 비약적인 발전에 따라 고집적 메모리 양산용 소자 기술은 현저한 발전을 이루어 왔다. 그럼에도 불구하고 박막 내 물리적·화학적 결함, 소재의 본질적 물성, 그리고 박막 간 계면 특성은 아직 충분히 규명되지 않았다. 본 과정에서는 박막의 물리적 특성과 더불어 계면 특성에 대한 심층적 고찰의 필요성을 제시한다. 더 나아가 다양한 소자 통합 및 메모리 제조 공정 전반에서 전기적·물리적 결함을 민감하게 분석할 수 있는 신규 특성 평가 기법을 소개하고자 한다.
등록안내
※ 사전등록 마감일: 2026년 10월 9일(금) 오후 5시
[사전등록]
- SEMI 회원사: 176,000
- 비회원사: 209,000
[현장등록]
- SEMI 회원사/비회원사: 231,000
※ 상기 가격은 부가세 포함 가격입니다.