RFジェネレータ電力測定スタンダードが改訂されました
By Michelle Sun, SEMI
2004年に初めて開発された SEMI E136, Test Method for Determining the Output Power of RF Generators Used in Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery(半導体処理装置の高周波電力供給に使用する高周波発生器の出力電力を求める試験方法) は,RF電力供給システムにおけるRF発生器の真の出力電力を決定するために必要な試験手順と装置を記述しています。これは、SEMI E113, Specification for Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery Systems(半導体処理装置用高周波電力供給システムの仕様) に概説されているRFの信頼性と再現性に関する性能基準の重要な要素です。
現在のバージョンは、RF発生器出力電力を決定するための装置セットアップおよび熱量計較正のための手順を提供していますが、試験過程中に考慮される必要があるフロー熱量計における誤差のいくつかの原因が存在しています。さらに、SEMI E113をサポートするために必要な程度まで不確実性に十分に対処していません。この改訂では、校正プロセスに関する追加情報が提供され、ユーザーは誤差のさまざまな原因をよりよく理解し、誤差を考慮しながら不確実性を推定することができます。この目的は、明確で追跡可能な不確実性の記述を用いて、ユーザーがRF電力の不確実性の低い測定値を生成するのをサポートすることであります。
スタンダードに対するもう一つの主要な追加項目は、RF出力電力を測定するために熱量計を使用するフィードスルー電力センサを較正するための記述です。発電所でのRF発電機出力電力の測定が推奨されますが、RF発電機が設置されている製造現場での熱量計の輸送と設置は時として非実用的です。この手順に従うことにより、ユーザーはSEMI E136に従って発電機電力測定をより迅速に行うことができます。
本文章のバロットは、2021年第5サイクルの投票のために発行され、2021年8月4日の北米地区Metrics技術委員会で承認されました。
この文書は、最終審査のために、国際標準委員会の監査・検討小委員会に提出されます。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。 参加をご希望の際は、SEMIインターナショナルスタンダードプログラム www.semi.org/standardsmembership. よりご登録をお願いします。
詳細につきましては、 SEMIスタンダードの Webサイト また 最新イベント ページをご参照ください。SEMIスタンダード活動についてご質問がございましたら、 SEMIスタンダード担当者までお問い合わせください。
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September 2, 2021