水の再利用を支援する新たに出版されたスタンダード
By Paul Kerr (Intel Corporation), Slava Libman (FTD Solutions), and Laura Nguyen (SEMI)
直近North America地区Liquid Chemicals技術委員会とそのタスクフォースによって発表された2つのSEMIスタンダードは、水の保存と再利用のための文書化された方法とガイドラインが必要な業界のニーズの中に、未だ新しい領域があることを再び示しています。気候変動の影響が世界中に広がり始めているため、これは水の入手可能性と、半導体製造施設を維持するために大量の水を供給することに伴うコストの両方に深刻な影響を与えています。SEMI F116, Guide for Drain Segregation for Semiconductor Manufacturing Tools to Support Site Water Reuse（敷地での水の再利用をサポートする半導体製造装置のドレイン分離のためのガイド）が2021年8月に発行され、廃水分離と水の再利用およびリサイクルを半導体装置および設備設計に組み込む方法についてのガイダンスが提供されました。既存のスタンダードSEMI F98, Guide for Treatment of Reuse Water in Semiconductor Processing（半導体製造工程における再使用水の処理指針）は2021年5月に改訂され、施設の水使用量を削減するために採用できる水管理と再利用戦略、ならびに半導体施設における水使用量をベンチマークするための方法と指標に関する包括的ガイダンスを提供しました。
なぜこのような新規スタンダードが必要なのか？
水管理の課題：:水は貴重な資源であり、如何に容易に水を入手できるかが重要な課題となっています。この事実は、大規模で成長中の半導体工場がある台湾と米国西部で昨年経験した深刻な干ばつによって明確に示されています。
これは、業界が水管理の分野で直面しているすでに重大な課題をさらに悪化させています。先進的なファブは、ますます複雑になっています。製造をサポートするために、新しく、通常使用されない化学的性質が認定されています。環境コンプライアンス要件はますます厳しくなっています。外部および内部のインフラストラクチャは、大規模なサイトではますます制約されています。製品の市場投入までの時間への圧力が高まり、迅速な構築と問題解決が促進されています。これらのすべての要因は、水の節約対策のためのインテリジェントなデータ駆動型解決法を必要としています。
SEMI Standards Water Management Task Force は、業界全体を対象とした広範な調査を実施し、目標の設定方法、データの管理方法、意思決定方法、仕様の作成方法、施設およびツールレベルでの水の保全または再利用方法など、水管理へのアプローチには大きな違いがあることを明らかにしました。
産業界は、一貫した信頼できる水保全の実践と解決策を開発する必要がある一方で、工場操業の質と信頼性を確保し、サイトの境界条件(環境制限の遵守、水保全目標の達成、システムとインフラの能力の範囲内、予算制限)の範囲内にとどまることが必要です。これらの要件のバランスを保つことは、半導体設備の技術者および管理者にとって大きな課題となります。
新しいスタンダードがこれらの課題にどのように対処するか
SEMI F98は、主要パフォーマンス指標、典型的な解決策、一貫した用語など、水の管理と保全のための高度な戦略的勧告を提供しています。
SEMI F116は、ツールレベルで水の保全を可能にするスタンダード、すなわち分離とPOU処理/リサイクルの標準化を扱っています。この規格には次のセクションが含まれています。
- 節水戦略の影響-集中型システムまたは分散型システムがビジネスニーズを満たすかどうか、およびシステムを施設に統合する方法を決定する。
- 水保全戦略に関するツール状態の含意-ツールまたは装置から再使用またはリサイクルするために利用できる水の質および量は、その操作状態に依存する
- ツールによる有用な水の消費と再利用の測定基準と測定-再利用またはリサイクルのために考慮される水流中の測定すべき品質パラメータ、およびそれらの測定方法。
- 水再利用システムのエンジニアリングのための設計の範囲と基礎
- 再利用または再利用システムの予測
- エンジニアリング提供物-水の再利用の統合を可能にする文書。
- ラベリング-配管および機器の内容、危険性、およびその他の主要なプロセス情報を伝達するための最適案。
- サンプリングポートおよびサンプリング推奨事項-サンプリング方法は、廃棄物再利用システムの水質モニタリングにおいて重要な考慮事項である。
- リスク管理-水の再利用またはリサイクルから生じる潜在的な危険性とリスクを緩和するために必要な対策と戦略。
- 試運転の考慮事項-設計中に試運転計画を含め、施設のニーズとプロジェクトのスケジュールをサポートするためにその実行を合理化。
- トレーニング-影響を受けるすべてのオペレータ、エンジニア、および管理者が安全で信頼できるシステム運用を確保するために必要なトレーニングを決定するためのガイド。
SEMI Standards Water Management タスクフォースは、これら2つのスタンダードの使用が意思決定を合理化し、将来の計画や改良された水システムに十分早く使用されれば、施設が多くの操業や建設の課題に対処するのに役立つと信じています。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。
参加をご希望の際は、SEMIインターナショナルスタンダードプログラム www.semi.org/standardsmembershipよりご登録をお願いします。
詳細につきましては、 SEMIスタンダードの Webサイトまた 最新のイベントページをご参照ください。 SEMIスタンダード活動についてご質問がございましたら、 your SEMIスタンダード担当者までお問い合わせください。
Standards Watch
SEMI
www.semi.org
September 2, 2021