装置の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する規格のアップデート
Michelle Sun, SEMI
SEMI E10、「 Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) （装置の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定の仕様）」は、製造環境における装置の信頼性、可用性、保守性(RAM)および使用パフォーマンスを測定するための規格化された方法論を提供することにより、半導体および関連業界の製造装置のユーザーとサプライヤー間の通信の共通基盤を確立します。
業界からの頻繁な要求は、非クラスタツール、シングルパスクラスタツール(SPCTs)、および個々の装置モジュールに加えて、いくつかの異なるタイプの装置システムの重要なサブシステムに対して、より多くのメトリックを提供することでした。
したがって、主に現在の時間ベースおよびサイクルベースのメトリックを超えるサブシステムを対象とする新しいカテゴリのRAMメトリックが、他の「作業」要因(例えば、RF発生器のRF時間、露光装置内のパルスベースのエキシマレーザのパルスカウント)に追加されています。
その他の更新の例としては、いくつかの用語の明確化/改訂(例:Unscheduled Downtime State(UDT))、ユーザー定義のサブステートの明確化、さまざまな編集上の変更などがあります。
SEMI E79、「Specification for Definition and Measurement of Equipment Productivity（装置の生産性の定義と測定の仕様）」もアップデートされ、特定の用語、特に「機器の状態」の一貫性が向上しました。SEMI E10の用語と同期するために、追加の用語も追加されました。
SEMI E10およびE79の次の改訂では、消耗部品と非消耗部品の定義、および参照される時間枠が明確になります。SEMI E10については、信頼性拡張成長モデルを明確にし、事前通知モデルを説明するための新しい用語と、予測および規範的な保守のための新しい用語を導入する計画もあります。
このアクティビティは、RAM、使用率、生産性など、統一された一貫性のある一連の機器パフォーマンスメトリックを提供することを目的とした Equipment RAMP Metrics Task Forceが主導しています。
新しい改訂版は、 SEMI WEBサイト または SEMIViews でご購入いただけます。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。
参加ご希望の際は、www.semi.org/standardsmembershipからSEMI International Standards Programにご参加ください。
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2021年3月11日