スタンダードプログラムの強化
By James Amano, SEMI
SEMI F47, 「Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity」は、業界で広く採用されている規格で、電圧低下テストのレベルと半導体ツールの要件を定義しています。この規格は、基本的にすべての半導体ツールベンダーによって実装されており、現在では世界中のほとんどすべての製造現場で求められています。SEMI F47が最初に公表されて以来、この業界では何億ドルもの製造コストとツールのダウンタイムを回避することができました。しかし、製造工場では未だ電圧低下イベントによるダウンタイムが発生することがあるため、SEMIは先ごろ、電力品質の問題を議論するため業界を集める ウェビナーを開催しました。
電力に関するもう1つの問題は、電力消費量です。大規模な半導体製造工場では、1時間に100メガワットの電力を消費します。製造工場では、電力を使用してHVACに電力を供給し、冷却水を流し、電力の大部分は、基本的なインフラとして、半導体製造プロセスのツールや、真空ポンプや除害装置などのサブ製造設備によって消費されています。半導体業界は現在、ウェーハが処理されていないときのユーティリティ消費を低減するため、SEMI規格を使用する「スマートアイドル」アプローチをますます採用しています。韓国産業界にこれらの基準 を周知させるため、省エネ機器通信タスクフォースのリーダーたちは近頃、主要な概念を紹介する ウェビナー を始めました。
今月私どもがご紹介する最後の電力関連活動は、冷却水に焦点を当てています。 SEMI S23, 「半導体製造装置のエネルギー、ユーティリティおよび材料の節約のためのガイド」は、エネルギー消費を測定するために業界で広く使用されています。 新しい改訂 では、タワー冷却された冷却水に関するガイダンスが提供されています。タワー冷却された冷却水とは、エネルギー消費を低減する冷凍システムではなく、冷却塔システムによって熱を除去するものです。
最新情報は、引き続きStandards Watchにてご覧いただくか、 現地の現地のSEMIスタンダードスタッフにご連絡いただき、ぜひご参加ください！
Standards Watch
SEMI
www.semi.org
June 3, 2021