韓国での省エネ機器通信ウェビナー
By Natalie Shim, SEMI Korea
近年、マイクロエレクトロニクス業界では省エネルギーの重要性が高まっています。
この目標に向けて、製造現場での省エネルギー通信を支援するために、 SEMIスタンダード活動 で複数の規格が開発されました。SEMI E175, Specification for Subsystem Energy Saving Mode Communication (SESMC) (サブシステム省エネルギーモード通信の仕様)は、プロセスツールが、真空ポンプやガス除去システムなどのサブ製造装置とどのように通信するか、ウェーハがツールによって処理されていないとき及び再びウェーハを処理するためツールがフル性能に戻るときにユーティリティ消費をどのように低減できるかについて定義してます。 SEMI E167, Specification for Equipment Energy Saving Mode Communications (EESM)( 省エネモード機器通信の仕様(EESM)に基づいています。EESMは、ユーティリティの節約を目的として、製造ホスト/WIPコントローラとプロセスツール間の通信を定義しています。
これらのスタンダードの価値を地域の産業界と共有するために、SEMI Koreaは2021年4月29日に省エネ機器通信ウェビナーを主催しました。そのウェビナーについて、38社70人余りが関心を示し、肯定的な評価をしました。北米情報管理技術委員会の傘下にある 省エネルギー機器通信( Energy Saving Equipment Communication ESEC)タスクフォース がウェビナーの計画と発表に大きな役割を果たしました。ESEC タスクフォースのメンバーであるMike Czerniak(Edwards)、Andreas Frenzel(DAS Environmental)、Andreas Neuber(Applied Materials)の3人の講演者がこのウェビナーを成功に導きました。
このウェビナーではまず、なぜ省エネルギーが重要なのか、そしてSEMI E175がどのようにして省エネルギーを達成するのかを説明しました。次に、SEMI E167を典型的なバーンウェット低減システムに適用した成功事例を紹介しました。最後に、これらのスタンダードが半導体製造工場でどのように実装されるか、そして何を考慮する必要があるかを見ていきました。
実施後のアンケートによると、多くの参加者はこのウェビナーが省エネルギーの新しいアイデアを提供したと評価いただきました。特に、スタンダードの紹介だけでなく、ケーススタディや実装に関する提案などの実用的な情報を紹介できたことが高く評価されました。
SEMI Koreaは、ESEC活動を含む注目すべきSEMI スタンダード活動の現況を共有するため、ウェビナーを引き続き開催してまいります。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。
参加をご希望の際は、SEMIインターナショナルスタンダードプログラム www.semi.org/standardsmembership よりご登録をお願いします。
詳細につきましては、 SEMIスタンダードの Webサイト また最新イベントページをご参照ください。 SEMIスタンダード活動についてご質問がございましたら、SEMIスタンダード担当者までお問い合わせください。
Standards Watch
SEMI
www.semi.org
June 3, 2021