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お申込(定員50名)おかげさまで満席となりました。お申込ありがとうございました。

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ここがポイント!

  • SECS/GEMは、半導体製造のソフトウェア分野における基本中の基本ですが、大変特殊で理解が難しいといわれています。
  • 半導体通信スタンダード全体の概観を導入として、SECS/GEMについて図を中心にわかりやすく体系的に解説いたします。
  • 半導体製造ラインの通信スタンダードであるSECS-I/II(SEMI E4、SEMI E5)、HSMS(SEMI E37)、GEM(SEMI E30)の基本概念と詳細内容を解説いたします。

※SEMIソフトウェアスタンダード教本の関連個所を基にした印刷資料をご提供します(配付資料に、SEMI E5などの関連スタンダード本文は含まれません。)

 

こんな方におすすめです

  •  これらのスタンダードに初めて取り組む方 
  • 体系的に学びたい方 
  • 概要を理解していて、より詳細に知りたい方 
  • これらのスタンダード本文を読んで、疑問に思っていることを解消したい方

 

開催概要

開催日時:2013年6月26日(水)-6月27日(木)の2日間

開催場所:SEMIジャパン JPRビル7階 第一・第二会議室

講師: 東京エレクトロン(株)システム開発センター 自動化グループ 望月 唯史 氏

※日本地区I&C委員会GEM300タスクフォース共同リーダーI&C(Information and Control)委員会は、SEMIスタンダード活動の製造装置ソフトウェア分野の文書を開発しています。

主催: SEMI

 

セミナー内容

SEMIソフトウェアスタンダードの基本中の基本SECS/GEMを、図を中心に体系的にわかりやすく解説します!

SECS/GEMは、半導体製造ラインの自動化に欠かせないSEMIソフトウェアスタンダードの核となる部分で、その習得は必須と言われています。しかし、一般のソフトウェアを専門にしているエンジニアにとっても、半導体製造装置のソフトウェアは大変特殊で理解の難しいものといわれてきました。そのため開発されたSEMIソフトウェアスタンダード教本は、図を中心に構成された、大変画期的な内容です。

具体的な範囲は、下図で赤線で囲んである項目です(ちなみに、青線で囲んである範囲は、例年開催しているSEMI Tutorial「GEM300」セミナーで解説しています。

※このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、その点、ご了承ください。

講師は、経験豊富な装置メーカーのエンジニアで、SEMIスタンダードI&C委員会(製造装置ソフトウェア分野の文書開発を行う活動)のGEM300タスクフォースの共同リーダーです。質疑応答の時間を随時設けますので、日頃の疑問点などを確認するチャンスが充分あります。

この機会にぜひご参加ください!

 

セミナースケジュール

1日目

11:00 はじめに

11:10 半導体通信スタンダードの全体像解説

12:00 昼食

12:50 SECS-II(SEMI E5)スタンダード解説

14:30 SECS-I(SEMIE4)スタンダード解説

15:00 休憩

15:10 HSMS(SEMI E37・SEMI E37.1)スタンダード解説

16:30 休憩

16:40 GEMスタンダードの位置づけと概要

17:40 質疑応答(18:00終了予定)

2日目

09:30 GEMスタンダード(基本性能)解説

12:00 昼食

12:50 GEMスタンダード(追加性能)解説

14:30 休憩

14:40 GEMスタンダード(追加性能)解説(続き)

15:30 質疑応答(16:00終了予定)

※終了時刻が前後する場合がありますので、ご了承ください。

 

お問合せ先

お申込・お支払に関して
SEMIジャパン イベント受付
TEL: 03-3222-5993Email: [email protected]

当セミナー内容に関して
SEMIジャパン Standards & EHS部
TEL: 03-3222-6018
Email: [email protected]