KINRYO ELECTRIC CO.,LTD

半導体クリーンルーム内AMC用リアルタイムモニタリング測定器です。 化学イオン化を用いた質量分析装置「SIFT-MS」は、クロマト分離を行わないため、気体中のターゲット化合物をダイレクトサンプリングすることで、リアルタイムにpptレベルで定量することができます。 CIイオン化に使用するリージェントイオン（H3O＋,NO＋,O2＋,OH－,O2－,O－,NO2－,NO3－)は水とエアーから生成されますので安全かつ簡便です。リージェントイオンは四重極により高速で切替されるので、1回の分析で最大22種のイオン化反応によるプロダクトイオン情報が得られます。 アンモニア、HF、HCLを含む有機＆無機化合物の濃度変化を リアルタイムに24時間定量しながらモニタリングすることが可能です。