ZhangJiaGang AnChu Technology CO.,LTD.

碳化硅村底抛光液;碳化硅衬底由于硬度高等特点导致了抛光难度大，效率低。系列抛光液是一种高效的碳化硅衬底表面抛光产品，本产品 创新性的使用了氧化铈抛光技术，在具有较高的材料去除率的同时可获得低表面粗糙度，低缺陷的晶圆表面。 碳化硅衬底晶圆清洗液:为碳化硅CMP抛光后有效清洗晶圆表面而设计的配方类清洗液，清洗效果优界，能有效的去除品圆表面有机物以及额 粒等污染物:清洗液金属离子含量低,有效降低清洗后晶圆表面残留金属离子:清洗液可稀释使用，降低了客户的使用成本。 吸附材料:本项目研发产品具有好高的比表面积，对磷烷(PH3)和砷烷(AsH3)有着很高的吸附能力，储存稳定安全，不会影响气体纯度孔腺 率高，释放量高:还开发了一种通过离子注入技术能进一步大大提高专用吸附材料对电子特气的吸附量，分子筛材料具有相对素度低、比强 度高、比表面积大、透过性好、吸附性强、孔隙率大和重量轻等诸多优点。