Nanjing ZhongAn Semiconductor

ZAS provide Semiconductor Industry focusing wafer geometry and inspection tool,including I.wafer geometry(Bow/Warp/Stress,etc.);2.un-patterned wafer particle inspection;3.Thin-Film thickness measurement(Metal,dielectric);4.Overlay measurement;5.pattern wafer darkfield

南京中安是一家从事半导体晶圆量测和检测设备研发和生产的高科技企业，主要产品包括：1.晶圆几何形貌量测设备（平整度，翘曲度，薄膜应力等）；2.无图形晶圆缺陷检测设备；3.薄膜厚度量测（金属膜，非金属膜）；4.套刻测量设备；5.有图形晶圆暗场检测设备。