广东先导元创流体技术有限公司

沃威仪器（珠海）有限公司（以下简称“沃威仪器”）在气体质量流量的测量和控制领域深耕十年，其热式MFC具备独特的技术专长，已被欧洲、韩国、台湾地区半导体客户认可并收到持续订单。 2024年，广东先导元创流体技术有限公司（以下简称“元创流体”）完成了对沃威仪器的全资收购，跨越式的提升了元创流体在MFC的新品研发及国产化能力，进一步扩大了元创流体MFC的量产产品线，向着成为中国半导体高端 MFC龙头企业这一目标又前进了一大步。 元创流体依托控股公司先导集团在材料科学和制造技术方面的优势，致力于满足半导体先进制程的气路系统解决方案，除了MFC，还开发了流量比例控制器FRC、压力控制器PC、气路压力传感器PT等产品。