製造ファブの電圧低下に関するワークショップの概要
By Mark Stephens, EPRI, TF Leader, and Laura Nguyen, SEMI
先日、SEMI&電力研究所(EPRI)は 2021年4月21日 に4時間のワークショップをヴァーチャルで開催し,マイクロエレクトロニクス製造における持続的で困難な問題（不確かな電力品質）に関する関係者からの見解が述べられました。ワークショップには、Advanced Energy社、ASML社、Austin Energy社、EPRI社、HP社、National Grid社、Schneider Electric社、VELCO社からの講演者を迎え、100名近くの参加者が集まりました。
SEMI F47, Specification for Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity, は、業界で広く採用されている規格で、電圧低下テストのレベルと半導体ツールの要件を定義しています。SEMI F47の実装以来,半導体製造の単相及び二相電圧サグに対する脆弱性は大きく改善されました。しかしながら、半導体製造業者は、電圧低下事象による著しい製品損失およびダウンタイムを経験し続けています。半導体工場のダウンタイムという現在進行中の問題を考慮して、新たにSEMI Voltage Sag Immunity Task Forceがこの問題を再検討するために設立されました。本タスクフォースの主な目的は以下の通りです。
- 半導体工場プロセスのダウンタイムの原因となっている電源品質イベントの特性の確認
- プロセス装置の感度の見直し
- 半導体産業の電圧低下に起因する損失をさらに低減するため、装置設計、設備設計、ユーティリティシステム、またはSEMIスタンダードに対する潜在的な調整の確定
SEMI F47の取り組みが続く中で、ワークショップでは、タスクフォースの全体的な取り組みや進捗状況を知るために、主要なステークホルダーからの視点が明らかにされました。
製造ファブの電圧手低下に関するワークショップの録画が オンデマンド で利用できるようになりました。SEMIメンバーは無料でアクセスすることができます。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。
参加をご希望の際は、SEMIインターナショナルスタンダードプログラム www.semi.org/standardsmembership.よりご登録をお願いします。
ツールまたはコンポーネントのOEM企業の方で、さまざまな単相(タイプI)、二相(タイプII)、および三相(タイプIII)の電圧に対するパフォーマンスを向上させる方法を理解し、参加をご希望の場合は、タスクフォースにご参加いただき、ツールのテストにご協力をお願いします。この機会に、電圧低下に対する機器の堅牢性を向上させましょう。
半導体工場の方で、PQデータとツールのダウンタイム情報を提供し、この活動への参加をご希望の場合は、ぜひご参加いただき、そしてご協力をお願いします。
電気事業者の方で、カバーするエリアに半導体工場がございましたら、タスクフォースにご参加いただき、関連するEPRI研究プロジェクト「半導体産業のためのシステム互換性要件」への支援をご検討ください。
これらの会議に参加するには、SEMIスタンダードプログラムのメンバーである必要があります。SEMIスタンダードプログラムへのご参加はこちらから。 www.semi.org/standardsmembership.
本タスクフォースにメンバーとして参加をご希望の方は、上記のSEMI Standards Programメンバーに登録し、EPRIの Mark Stephens と Laura Nguyen までメールでご連絡ください。
Standards Watch
SEMI
www.semi.org
June 3, 2021