SEMI University「SEMI S2-0724」セミナー

半導体は先端技術のコアとなるものであり、その製造における環境・健康・安全（EHS）に関する課題に対処するため、各種SEMI安全ガイドラインが開発されています。

中でもSEMI S2「半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン」は、有力半導体メーカーを中心に、半導体ならびに関連する製造装置の安全仕様として広く採用されています。

SEMI EHSガイドライン

SEMI EHSガイドラインは、SEMI S2を統括役とする階層構造になっており、関連する10件のガイドラインを参照する形を取ることで、各専門分野の要請に応じて適時適切な改訂が行われるようになっています。その中でも人間工学ガイドラインのSEMI S8は別格扱いで、エンドユーザーが半導体製造装置を現場で安全に稼働させるために必須とされています。

SEMI S2は28章にわたる本文と、付属文書ならびに関連文書を含む形で構成されています。今回のセミナーは事前収録形式とし、電気、機械、化学、防火、環境、放射など各専門分野に対して講師を配置した形でお届けいたします。

SEMI S2-0724改訂ポイント

2024年7月に発行された最新版のSEMI S2-0724では、圧力システム、揚重装置、ヒンジ付き荷重、機器汚染除去、可燃性物質、火災保護、安全ラベルに関する改訂がなされ、各セクションに新しい定義や基準を追加し、既存の文言を更新しています。

主な変更点として、圧力システムの改訂では、安全性を確保するためのガイダンスや参照規格、定義、基準の追加が行われ、揚重装置やヒンジ付き荷重の改訂では、構造と要素の整理、静的および動的荷重試験の適用の明確化が含まれています。機器汚染除去の改訂では、SEMI S12に関する変更や設計基準の追加、可燃性物質の改訂では、電気設計における予防措置の評価、火災保護の改訂では、火災検知・抑制機器の基準の修正や電源遮断時の火災検知の動作可能性の修正が含まれ、安全ラベルの改訂では、提供方法の変更や記載事項の明確化が行われています。

「SEMI S2-0724」セミナーダイジェスト動画

昨年に続き、2025年もSEMIが提供するe-learningプラットフォーム「SEMI University」にて、「SEMI S2」を詳細に解説するセミナーを継続配信します。本年は、最新版の「SEMI S2-0724」に基づくセミナーの配信となります。

本セミナーでは、SEMI S2の特徴や安全に対する考え方に加え、電気、機械、化学、防火、環境、放射など各分野の要求事項を、半導体メーカー、装置メーカー、第三者評価機関の経験豊富な講師陣が詳しく解説します。

また、SEMI S2を学ぶことで、半導体産業特有の基準、ならびに半導体製造装置の設計にあたって考慮すべき国際規則、規制、スタンダード等に関しても理解を深めることができます。

改訂を続けているSEMI S2の改めての理解や、社内教育の一環としても、ぜひご活用ください。

対象者

これからSEMI S2を読み解こうとされる初心者の方
概要を理解していて、より詳細に知りたい方
日頃疑問に思っていることを解決したい方
半導体メーカーの購買に携わる方
装置・設備・材料・コンポーネントメーカーの開発・設計・品質保証・営業に携わる方