「Terry Higashi Award」について
本年、新たに「Terry Higashi Award」が創設されました。この賞は、国内外の半導体産業やSEMIの活動に大きく貢献された方を讃えるものとされました。
賞の目的
・SEMIの活動、またはグローバル半導体産業への顕著な貢献
・Cultural Leadershipを発揮し、半導体業界をけん引
・日本の半導体産業の発展への大きな貢献
これらの功績を称えることを目的としています。
賞の名称について
この賞は、東京エレクトロン株式会社で長年にわたり半導体産業の発展に尽力し、SEMI International Board Chairとしてグローバルの半導体産業に大きく貢献され、また、現在もRapidus株式会社の取締役会長として日本での最先端半導体の開発・製造・販売を目指している東 哲郎氏のお名前を冠しています。

受賞者の発表
2025年の受賞者は、SEMI日本地区諮問委員会の推薦・投票により、辻村 学氏(株式会社荏原製作所 フェロー)に決定しました。
SEMICON Japan 2025の初日、2025年12月17日に辻村氏の受賞が発表され、同賞の名前由来である東氏から辻村氏に授与されました。
受賞理由
辻村氏は、荏原製作所の精密・電子事業領域において半導体製造装置の研究開発と事業を牽引し、特にCMP技術の第一人者として国際学会や技術標準化、技術ロードマップなど幅広い分野で国際的なリーダーシップを発揮しています。
SEMIでの活動では、SEMIテクノロジーシンポジウムのプログラム委員会委員長としての活躍に加え、SEMIスタンダード委員会でCMP技術関連の国際標準や安全ガイドラインの策定を主導しました。
SEMIが高校生向けに開催した人材開発施策「ハイテク・ユニバーシティ」において半導体の魅力を熱心に語るなど、若い世代への啓発にも力を注いでいます。
また、日本半導体製造装置協会や日本真空工業会の会長を務め、SEMIを含む半導体業界の三団体の橋渡し役としても重要な役割を果たしてきました。
ご参考
株式会社荏原製作所ニュースリリース
当社フェローの辻村が「Terry Higashi Award」を受賞