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EDA

読み方:
イーディーエー
フルスペル:
Equipment Data Acquisition

EDA (Equipment Data Acquisition) は半導体製造装置の運用性能を高めることを目的として装置のプロセス状態、稼働状態などのデータを収集し、ネットワークを経由してデータ解析アプリケーションに提供する装置の機能です。
SEMI スタンダードでは、EDAの標準仕様を定義しています。この標準仕様では、データ通信にWebサービスを適用していて、複数アプリケーションが汎用的なプロトコルを介して装置のデータを取得できる仕掛けを提供しています。

 

EDAに関連するSEMIスタンダード群

  • SEMI E120 Specification for the Common Equipment Model (CEM)
  • SEMI E125 Specification for Equipment Self Description (EqSD)
  • SEMI E128 Specification for XML Message Structures
  • SEMI E132 Specification for Equipment Client Authentication and Authorization
  • SEMI E134 Specification for Data Collection Management
  • SEMI E138 Specification for XML Semiconductor Common Components
  • SEMI E164 Specification for EDA Common Metadata

 

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