SEMIスタンダード(規格)解説セミナーテキストのご案内
SEMIスタンダード関連セミナー予稿集
SEMIジャパンでは、過去に実施いたしましたセミナーの予稿集を、SEMIジャパン オンデマンドライブラリ(On Demand Library)(http://www.bookpark.ne.jp/semi)にて販売しております。
SEMIスタンダードに関するセミナーのテキスト
新たな技術標準の方向性を探るワークショップ、SEMI S2など特定の規格を解説したセミナー、静電気など特定分野の複数の規格を解説したセミナーを実施しており、テキストを後日販売しております。
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安全ガイドライン、EHS分野 |
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静電気、ESD分野 |
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シリコンウェーハ、450mm |
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RFシステム, 電源, プラズマ分野 |
なお、SEMIソフトウェアスタンダード「SECS/GEM」セミナーおよび「GEM300」セミナーでは、 「SEMIソフトウェアスタンダード教本」中の関連ページをテキストとしておりますので、個別にテキストを販売しておりません。
「SEMIソフトウェアスタンダード教本(半導体製造のシステム化)」の詳細は、こちらをご参照ください。
SEMIスタンダードの内容
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SEMIスタンダードの購入
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