SEMI Tutorial — SEMIソフトウェアスタンダードSECS/GEM
–　工場システム／半導体製造装置間の通信スタンダードの基本の解説　–

• SECS/GEMは、半導体製造のソフトウェア分野における基本中の基本ですが、大変特殊で理解が難しいといわれています。
• 半導体通信スタンダード全体の概観を導入として、SECS/GEMについて図を中心にわかりやすく体系的に解説いたします。
• 半導体製造ラインの通信スタンダードであるSECS-I/II（E4、E5）、HSMS（E37）、GEM（E30）の基本概念と詳細内容を解説いたします。

開催日時：

2009年7月1日（水）－7月2日（木）の2日間
7月1日（水）11:00－18:00　　　　7月2日（木）09:30－16:00
（遠方からご参加の方の移動時間を考慮して、1日目は開始時間を遅めに、2日目は終了時間を早めに設定しています。）

開催場所：

SEMIジャパン　大島ビル5F　ABC会議室

講師：

大日本スクリーン製造（株）半導体機器カンパニー 洗浄技術統轄部　高崎　義久 氏

テキスト：

SEMIソフトウェアスタンダード教本の関連箇所を基にした印刷資料をご提供します（配付資料に、SEMI E4などの関連スタンダード本文は含まれません）。

主催：

SEMI

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SEMIソフトウェアスタンダードの基本中の基本SECS/GEMを、図を中心に体系的にわかりやすく解説します！

SECS/GEMは、半導体製造ラインの自動化に欠かせないSEMIソフトウェアスタンダードの核となる部分で、その習得は必須といわれています。
しかし、一般のソフトウェアを専門にしているエンジニアにとっても、半導体製造装置のソフトウェアは大変特殊で理解の難しいものといわれてきました。
そのため開発されたSEMIソフトウェアスタンダード教本は、図を中心に構成された、大変画期的な内容です。
本セミナーでは、そのソフトウェア教本をもとに、半導体通信スタンダード全体の概観を導入として、SEMI E4（SECS-I）、SEMI E5（SECS- II）、SEMI E37 （HSMS）、SEMI E30（GEM）などの基本概念と詳細内容を、図を中心に体系的に解説していきます（用語一覧表をご参照ください）。実装の解説は含みません。
また、解説のほかに演習問題を設けて、参加者の理解促進を図ります。
具体的な範囲は、下図で赤線で囲んである項目です。青線で囲んである範囲はGEM300と呼ばれる、300mm装置向けのソフトウェアスタンダード（PJS（E40）、CMS（E87）、STS（E90）、CJM（E94）など）ですが、今回の解説には含まれません（SEMI Tutorial「ソフトウェアスタンダードGEM300」セミナー（2009年2月5日実施済み）で別途解説しています）。
講師は、経験豊富な装置メーカーのエンジニアで、SEMIスタンダードのソフトウェア分野で現在活躍中のスタンダード委員です。
質疑応答の時間を随時設けますので、日頃の疑問点などを確認するチャンスが充分あります。
この機会にぜひご参加ください！

セミナー対象者

• これらのスタンダードに初めて取り組む方
• 体系的に学びたい方
• 概要を理解していて、より詳細に知りたい方
• これらのスタンダード本文を読んで、疑問に思っていることを解決したい方

（ページ下方に過去のセミナー参加者の声をご紹介しています。）

今回は、好評発売中のSEMIソフトウェアスタンダード教本2008年版CD-ROM（SEMI会員価格￥25,200／一般価格￥37,800）の付いた、お得なセット商品もご用意しております。
（教本CD-ROM商品のみご購入される場合には、SEMIジャパン オンデマンドライブラリをご参照ください。）

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【1日目】

11:00-
11:10-
12:00-
12:50-
14:30-
15:00-
15:10-
16:30-
16:40-
17:40-

はじめに
半導体通信スタンダードの全体像解説
昼食
SECS-II (E5)スタンダード解説
SECS-I (E4)スタンダード解説
休憩
HSMS (E37/E37.1)スタンダード解説
休憩
GEMスタンダードの位置づけと概要
質疑応答（18:00終了）

【2日目】

09:30-
12:00-
12:50-
14:30-
14:40-
15:30-

GEMスタンダード(基本性能) 解説
昼食
GEMスタンダード(追加性能) 解説
休憩
GEMスタンダード(追加性能) 解説(続き)
質疑応答（16:00終了）

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6月16日（火）まで

6月17日（水）以降

印刷資料、昼食付き

￥24,000

￥32,000

印刷資料、昼食、SEMIソフトウェアスタンダード教本（CD-ROM）付き

￥49,000

お取り扱いいたしません。

お申込日を起算日として10日目以降及び6月17日（水）以降のキャンセル・変更はできません。代理の方のご出席でお振替えください。万一、ご欠席の場合でも、参加費用全額を申し受けますので予めご了承下さい。

お申込・お支払に関して

SEMIジャパン イベント受付
Tel: 03-3222-5993
Email: jeventinfo@semi.org

このセミナーの内容に関して

SEMIジャパン スタンダード部
Tel: 03-3222-6018
Email: jstep@semi.org

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2008年6月にSEMI Tutorial — SEMIソフトウェアスタンダードSECS/GEMを実施いたしました。

• 半導体通信にこれから携わるレベルとしては、わかりやすくて良かったと思う。（20代、装置メーカー）
• 演習問題があって非常に理解しやすかった。（20代、半導体メーカー）
• 体系立ったプログラムで、大変分かりやすいと思った。（30代、装置メーカー）
• 規格文書だけ読んでいるだけでは理解できない部分が多々あったのが解消された。（30代、装置メーカー）

詳しくは、セミナーレポート「SEMI Tutorial — SEMIソフトウェアスタンダードSECS/GEM」をご参照ください。

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SEMI半導体製造装置通信規格（ソフトウェアスタンダード）の用語（一部）を紹介しています。

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