日時：
場所：
講師：

2009年2月5日（木） 10:00-18:00
SEMIジャパン会議室
大日本スクリーン製造（株）
半導体機器カンパニー 洗浄技術統轄部
高崎義久 氏

開催時のセミナー詳細

セミナー内容

自動化（装置運転）のスタンダードであるPJM（E40）、CMS（E87）、STS（E90）、CJM（E94）などの基本概念と詳細内容が図を中心にわかりやすく体系的に解説されました（右図の青い線で囲んでいる項目が今回の範囲でした）。

セミナー対象者

• これらスタンダードに初めて取り組む方
• 概要を理解していて、より詳細に知りたい方
• 体系的に学びたい方
• 日頃疑問に思っていることを解決したい方

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合計40社から61名のご参加をいただきました。

内訳は下グラフのとおり、装置メーカーの方が中心でした。

また、関東甲信越地域からのご参加が全体の6割を占めるものの、北海道や中国・四国・九州など遠方からご参加された方もいました。

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1. セミナーへの参加目的は何ですか？

セミナー対象者を具体的に設定していましたが、実際そのような方々に多くご参加いただいたようで、下図のとおり、「これらのスタンダードに初めて取り組むため」、「体系的に学びたかったため」、というご意見が特に多くみられました。

2.　セミナーへの参加目的は達成できましたか？

回答者58名中50名の方に「達成できた」という評価をいただきました。一方、「達成できなかった」という回答では、「帰社後勉強が必要」、「具体的な内容が少なかった」などのご意見をいただきました。

3.　本セミナーを同僚などに勧めますか？

回答者58名中50名の方に「勧める」と回答いただきました。「新人が受講するにはちょうど良さそう」というご意見もいただきました。

4.　今後、次のセミナーが開催されたら参加したいですか？

ソフトウェア分野の他のテーマ「300mmスタンダード実装」、「Interface A（EDA）入門」、「XML/SOAP（入門）」、「SECS/GEM（入門）」のセミナーについては、いずれも関心をお持ちいただいておりますが、特に、「SECS/GEM（入門）」にご回答された方が20名以上いました。

SEMI Tutorial「SEMIソフトウェアスタンダードSECS/GEM」は、2009年7月1日（水）、2日（木）に開催予定です。

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10:00
10:30
12:00
13:00
15:30
15:45
16:45
17:15
17:45
18:00

GEM300の概要説明
CarrierManagement(SEMI E87)CMS解説
昼食
ProcessJob(SEMI E40) PJM解説 & ControlJob(SEMI E94) CJM解説
休憩
SubstrateTracking(SEMI E90) STS解説
ObjectService(SEMI E39) OSS解説
まとめ
質疑応答
閉会

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ウルトラテック（株）、（株）岡本工作機械製作所、キヤノンマーケティングジャパン（株）、（株）コベルコ科研、コマツ工機（株）、住友精密工業（株）、タツモ（株）、（株）トプコン、東京エレクトロン ソフトウェア・テクノロジーズ（株）、長崎セミコンダクターマニュファクチャリング（株）、長野オートメーション（株）、（株）ニコン、日新イオン機器（株）、（株）日本機材、（株）日立国際電気エンジニアリング、（株）日立製作所、（株）日立ハイテクノロジーズ、富士電機システムズ（株）、みずほ情報総研（株）、三菱電機（株）、（株）メデック、（株）ユーシン精機、リンテック(株)　ほか合計40社

SEMIジャパンでは、みなさまのご参加に感謝しております。

また、今後とも、求められるテーマとより良い運営でセミナーを開催してまいりたいと存じますので、ご意見・ご要望などございましたら、下記までご連絡ください。

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