DAS Environmental Experts在中国推出面向半导体制造的SALIX 湿式洗涤器产品系列

随着中国半导体制造业持续扩张，可靠高效的环保技术对于晶圆厂稳定、可持续运营愈发重要。DAS Environmental Experts 正式推出 SALIX 湿式洗涤器产品系列，该系列为高效点对点处理系统，专为处理半导体制造中湿法工艺产生的废气而设计。
SALIX 系统经过精心设计，可在严苛的半导体生产环境中确保高去除效率与稳定运行。针对现代化单晶圆清洗设备的废气，SALIX 可高效可靠地去除 IPA、氨气、氢氟酸（HF）等污染物，为安全、可持续的半导体生产提供关键支撑。此外，该技术还可去除处理后废气中的颗粒物、盐分及液滴。系统结构坚固耐用，支持高开机率与长维护周期，助力晶圆厂稳定运营。
SALIX 产品系列的一大核心优势在于其灵活的产品组合。该系列产品是目前市场上体积最小、结构最紧凑的系统之一，既适用于新建晶圆厂，也可用于现有产线的改造升级。
• 全新推出：SALIX — 性能全面升级、系统运行优化的新一代产品
• SALIX MINI — 紧凑型双级系统，专为安装空间受限场景设计
• 全新推出：SALIX MICRO — 超紧凑型配置，配备预洗涤单元，可灵活集成
这种结构化的产品组合可帮助客户根据工艺需求、晶圆厂布局及集成条件，选择最适配的系统方案。同一技术平台下提供多款系统型号，为半导体厂商在设备选型与工厂设计方面带来极高的灵活性。

SALIX 系统可兼容市面上所有主流工艺设备，并能适配各类湿法化学应用场景。其紧凑设计与灵活配置，可高效集成于现代化晶圆厂，助力厂商在环保表现与运营效率上实现双重优化。

SALIX 产品系列将亮相SEMICON China 2026，展会于 3 月 25–27 日在上海新国际博览中心举办。感兴趣的业内人士可莅临 DAS Environmental Experts 展位（N2 馆 2619 号），深入了解该技术及其应用方案。

凭借三十余年在半导体行业环保技术领域的深耕经验，DAS Environmental Experts 持续为全球芯片制造商提供兼具高工艺可靠性、高效废气处理能力与长期运行稳定性的解决方案。

关于 DAS Environmental Experts
DAS Environmental Experts 于1991年成立于德国德累斯顿，是全球工业废气与水处理领域公认的技术领导者。我们提供创新性解决方案，助力半导体、光伏、化工、食品及制药等行业的企业实现环保合规与可持续资源管理。

DAS 集团目前拥有950余名员工，在9个国家设有分支机构，兼具全球专业实力与本地服务优势。