プレスリリース:SEMIの日本地区におけるスタンダード各賞受賞者発表

2012年11月26日

 

SEMIの日本地区におけるスタンダード各賞 受賞者発表
2012年度日本地区スタンダード賞は産総研の山道正明氏が受賞


SEMI(本部:米国カリフォルニア州サンノゼ、プレジデント兼CEO:デニー・マクガーク)は、2012年の日本地区SEMIスタンダード各賞の受賞者を下記の通り発表いたします。(敬称略)

SEMI・ジャパン・スタンダード賞
     独立行政法人産業技術総合研究所 
 
山道 正明 (ヤマミチ マサアキ)
 
SEMI 国際協力賞
 
東京エレクトロン株式会社
信越ポリマー株式会社
リンテック株式会社
株式会社ディスコ
株式会社ディスコ
 
村上 孝 (ムラカミ タカシ)
田中 清文 (タナカ キヨフミ)
渡邊 健一 (ワタナベ ケンイチ)
川合 章仁 (カワイ アキヒト)
増地 純郎 (マスチ スミオ)
 
JRSC* 特別賞
  株式会社キーエンス
ルネサス エレクトロニクス株式会社
 
角淵 弘一 (ツノブチ ヒロカズ)
伊賀 洋一 (イガ ヨウイチ)
 
JRSC* 功労賞
 
ルネサス エレクトロニクス株式会社
株式会社堀場製作所
小林 秀 (コバヤシ シゲル)
井深 成仁 (イブカ シゲヒト)

*JRSC:Japan Regional Standards Committee、日本地区スタンダード委員会

授賞式は、12月5日(水)~7日(金)、幕張メッセにおいて開催する半導体製造装置・部品材料の総合イベント「セミコン・ジャパン 2012」会場において、12月6日(木)18時より行います。
 ● SEMIスタンダード授賞式・フレンドシップパーティ
    日時: 2012年12月6日(木) 18:00~19:30
    会場: 幕張メッセ 国際会議場3F 303会議室

 
「SEMI・ジャパン・スタンダード賞」
は、山道正明氏に授与されます。
 
山道氏は長年に渡りSEMI標準化活動に従事され、多方面からさまざまな貢献をされました。
氏は、1994年より、シリコンウェーハ委員会において、300㎜ウェーハの標準化実現にむけて、北米、欧州、日本のデバイスメーカー、シリコンウェーハメーカー、さまざまなコンソーシアム(SEMATECH、社団法人新金属協会、社団法人日本電子工業振興協会など)間の意見調整役としてその手腕を発揮されました。さらに、シリコンウェーハ委員会幹事、材料部会長として、隣接する分野とのコミュニケーションを図り、標準化活動が円滑に進むように力を尽くされました。
また、日本におけるSEMI PV(太陽光発電)スタンダード委員会の方向付けにおいても、優れたリーダーシップを発揮されました。PVに関する標準化を目的としたPV委員会が各地で設立される中、技術委員会の発足では他地区に遅れていた日本地区において、委員会設立の中核となり力を注がれるとともに、日本の発言力を確保するよう尽力され、効果を上げられました。
氏は、2010年から現在に至るまで、日本地区スタンダード委員会の委員長として、日本地区における標準化活動の課題抽出やその改善に取り組まれています。特にSEMI国際スタンダード委員会などへの日本からの発言に関して優れた指導力を発揮され、日本地区スタンダード委員会の存在意義を高められました。

「SEMI 国際協力賞」は、村上.孝氏および田中清文氏、渡邊健一氏、川合章仁氏、増地純郎氏に授与されます。
 
村上氏は、2009年から太陽電池製造自動化関連のSEMI標準化活動に参画、2010年12月に日本PV EIS(装置間インタフェース仕様)タスクフォースの共同リーダーに就任し、欧州PV EISタスクフォースとの調整に注力しながら、欧州が先行して提案していたPVの装置間通信に関するスタンダードの開発を推進し、SEMIスタンダード「PV35」の発行へと導きました。日欧の間には、日本は薄膜系、欧州は結晶系と関心のある分野の相違、意見の対立などさまざまなギャップあり、意見調整やスタンダード開発は困難を極めました。氏は、度重なる渡欧や電話会議、数々の資料提供により課題の解決に熱心に取り組み、日欧のスタンダード委員間の信頼関係を構築しました。これにより、PV Automation (太陽電池製造自動化)委員会では初のグローバル・タスクフォース設立に至り、ドキュメント開発の加速に繋がりました。
また、中国のPV委員会および韓国のI&C(通信)委員会に出席し、アジア地区においてもPV装置間通信標準化活動のプロモーションに尽力されました。

田中氏、渡邊氏、川合氏、増地氏の四氏はグループとしての活動が高く評価されました。
四氏は日本地区パッケージング委員会において、Japan 450mm Assembly & Test Die Preparationタスクフォースの設立時から深くかかわられ、タスクフォースの共同リーダーとして標準化活動に積極的に取り組まれてきました。北米地区のPI&C(ハードウェアインタフェースおよびキャリア)委員会の関係者とも密接に連絡を取り、ドラフト作成段階からグローバルなコンセンサス形成を目指しました。異なる地域、異なる技術委員会にあるタスクフォースとのコンセンサス形成には時間と労力が必要ですが、四氏は慎重かつ積極的にコミュニケーションを取りながら意見集約を進め、ドキュメント開発を推進。2011年2月には、450㎜ウェーハのためのテープフレームの仕様を規定したSEMIスタンダード「G88-0211」を、同年4月にはウェーハマウンティングプロセスとダイボンディングプロセス間で使用する450㎜ウェーハ用テープフレームカセットの機械的形状を規定したスタンダード「G92-0412」を開発、出版しました。

「JRSC 特別賞」は、伊賀洋一氏と角淵弘一氏に授与されます。
 
両氏は、トレーサビリティ委員会において標準化活動に携わり、委員会長およびJapan Anti-Counterfeiting (模倣防止)タスクフォース共同リーダーとして、継続的にSEMI標準化活動を牽引してこられ、半導体模倣防止のための初のSEMIスタンダード開発に取り組まれました。その結果、SEMIT21-0212「サプライチェーンおける模倣品対策のトレーサビリティのための証明書サービス機関(CSB)から発行されたデジタル証明書による組織の識別のための仕様」およびSEMIT22-0212「自己認証サービスの機関(SASB)と認証サービス機関(ASB)によるトレーサビリティのための仕様」が開発され、出版に至ったことが評価され、特別賞の受賞となりました。
また、この動きはISOTC247(模倣品対策および管理)委員会からも注目され、SEMIスタンダードの認知度向上に大きく貢献したと言えます。

「JRSC 功労賞」は小林秀氏および井深成仁氏に授与されます。
 
小林氏は、日本地区PI&C委員会およびI&C委員会、メトリクス委員会において、長きにわたりスタンダード活動に尽力されました。特に、ISMI (International SEMATECH Manufacturing Initiative)など国内外のユーザー組織と連携し、300mmスタンダードの実装に向けた課題改善を推進され、さらにはSEMIスタンダードが広くユーザーに利用されるようプロモーション活動に注力されました。
また、日本地区スタンダード委員会長として日本地区の取りまとめに貢献されるとともに、ドキュメント開発過程における手続き審査に関わるなど、幅広くスタンダード活動に貢献されました。

井深氏は、1993年よりSEMIスタンダード活動に従事され、日本地区EHS(Environment, Health and safety)委員会委員長として、また、設備安全性部会長として、国内外においてスタンダード活動を牽引されました。氏は、常に新たな課題を提起し、ドキュメントの開発、その普及に努められました。国内のみならず、北米、アジアでも指導力を発揮され、韓国や台湾でワークショップを開催し、グローバルな意見収集や交流に力を尽くされました。また、すべての技術委員会のドキュメント開発過程における手続き審査に関わるなど、多角的にスタンダード活動に貢献されました。


【ご参考】
■ 日本地区におけるSEMIスタンダード各賞:
SEMI日本地区スタンダード委員会が、毎年12月に開催されるセミコン・ジャパンにおいて、同地区のスタンダード活動で傑出したリーダーシップを発揮したスタンダード委員に授与する賞です。「SEMI・ジャパン・スタンダード賞」、「SEMI国際協力賞」、「JRSC特別賞」、「JRSC功労賞」の4つの賞があります。

■ SEMIスタンダード活動:
SEMIスタンダードは、半導体、フラットパネルディスプレイ、LED(Light-Emitting Diode、発光ダイオード)製造、太陽光発電分野などにおけるコンセンサスベースの国際業界自主基準です。しかも、部材メーカー、製造装置メーカー、デバイス(パネル・セル)メーカー、検査・評価機関、サービスプロバイダーなど、エレクトロニクス製品製造の源流から最終製品に近い分野まで、広範囲な標準化対象をカバーしていることが特長です。各業界分野の専門家の知見を結集して開発された国際的な仕様・技術標準として広く利用されています。現在、12分野で850のスタンダードが出版されています。>> http://www.semi.org/jp/Standards/

 


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