2012年2月20日

第19回 STS Award 受賞者発表

SEMI（本部：米国カリフォルニア州サンノゼ）は、第19回STS Award (SEMI Technology Symposium Award)受賞者を下記の通り発表します。

本年のSTS Awardは、2011年12月7日（水）～9日（金）に開催された半導体製造装置・部品材料の総合イベント「セミコン・ジャパン 2011」で行われた技術シンポジウム「SEMIテクノロジーシンポジウム(STS) 2011」で行われた11の技術セッション62講演の中から、
　A. 独創性（新規性が明確になっているか）
　B. 有用性（将来的に役立つ内容か）
　C. 話題性（話題性があるか）
　D. 表現性（わかり易い発表であったか）
の4点において優れているとして選出された講演に授与されます。

STS Awardの選考にはSTSプログラム委員会があたり、聴講者アンケートの結果も参考にされています。本年の受賞者は、今月開催されたSTSプログラム委員会において最終選考が行われました。

第19回STS Awardの受賞者および受賞講演タイトルは下記の通りです。

■ SEMIテクノロジーシンポジウム（STS）：
SEMIテクノロジーシンポジウム (STS)は、毎年12月、半導体製造装置・部品材料の総合イベント「セミコン・ジャパン」で開催している技術シンポジウムです。1982年に第1回を開催、2012年で31回目の開催を迎えます。例年、半導体プロセス・デバイス技術を中心に、先端技術動向、技術課題、その実用化技術が第一線の技術者から発表されています。
昨年12月7日（水）～9日（金）に開催したSTS 2011では、11の技術セッションが行われたほか、第30回開催を記念する無料講演「STSサテライトセッション」および「STSスポット講演」も実施し、のべ1,890名が聴講されました。
本年のSTSは、12月5日（水）～7日（金）の3日間、幕張メッセ 国際会議場で開催を予定しており、発表論文は4月より募集する予定です。

STS 2011 会場風景	第18回STS Award 授賞式（STS 2011にて）
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