SEMI・ジャパン・スタンダード賞

東京エレクトロン株式会社

浅川 輝雄 （アサカワ テルオ）

SEMI国際協力賞

ムラテックオートメーション株式会社

近藤 浩 （コンドウ ヒロシ）

NECエレクトロニクス株式会社

伊賀 洋一 （イガ ヨウイチ）

JRSC特別賞

株式会社ルネサステクノロジ

河合 直行 （カワイ ナオユキ）

株式会社ダイフク

川口 雅昭 （カワグチ マサアキ）　　　　　　　　　（敬称略）

授賞式は、12月2日（水）より幕張メッセで開催する世界最大規模の半導体製造装置・部品材料の総合イベント「セミコン・ジャパン 2009」において、12月3日（木）18時より執り行います。

「SEMI・ジャパン・スタンダード賞」は、日本地区におけるSEMIスタンダードの最高栄誉賞です。
受賞者の浅川輝雄氏は、業界をあげたシリコンウェーハ口径300mm化検討の流れを受けて、1994年末、SEMI日本地区においてハードウェア・スタンダードの動きが再開した時点から15年にわたり、継続的にイニシアチブをとられています。1996年末から2003年夏にかけては、Japan Physical Interfaces & Carriers (PI&C) Committee（半導体製造分野のハードウェア関連の標準化を扱う委員会）の共同委員長(Co-chair)として、当該分野のみならずファクトリー・インテグレーション分野全般に対してリーダーシップを発揮されました。多数の300mmファブ用SEMIスタンダードの開発においてグローバルな活動展開のための素地形成に尽力されたほか、その途上で発生した種々の特許問題に対しても適切に対応され、現在もSEMI国際スタンダード委員会(ISC：International Standards Committee)の規約小委員会メンバーとして時宜を得た知見を示されています。

2003年～2007年末には、SEMI日本地区スタンダード委員会(JRSC：Japan Regional Standards Committee)のCo-chairとしてSEMIスタンダード日本地区全体を牽引し、そのフレームワーク面の質的向上に努められました。氏が、言語面や文化面での壁があるからこそ、日本地区のスタンダード委員や組織が国際スタンダード活動において戦略的にイニシアチブをとることが非常に重要である、と一貫して説かれたことにより、日本地区のSEMIスタンダード関係者は大いに啓発されました。

また近年では、氏の産業分野を超えた活躍も顕著になっています。SEMIスタンダードの太陽光発電分野での活動は、2007年から欧米地区が先行する形で進められ、2008年より、同分野の主要企業・関係者が集積する日本にもスタンダード委員会を設置することの重要性が多くの業界関係者に意識されるようになりました。翌2009年春に日本地区PV(Photovoltaic)委員会がキックオフするに至ったことは、氏の行動力と求心力によるものです。氏は現在、同委員会のCo-chairとして、これまでの知見を活かし活動を推進されています。

以上が浅川氏のスタンダード活動における功績の一端です。一方、スタンダード活動をサポートするMTF (Manufacturing Technology Forum）活動やESG (Equipment Supplier Group）活動においても、それらを積極的に推進され、スタンダードに関わる半導体業界の重要課題検討の枠組み作りや、SEMIスタンダードの各技術委員会がより効果的な活動を展開するための環境作りにも尽力されています。

同氏の受賞は、以上のような国内外、スタンダード分野の内外に跨った多面的な活躍が評価されたものです。

「SEMI国際協力賞」は、近藤 浩ならびに伊賀 洋一の二氏に授与されます。
近藤氏の活動は、SEMIにおける300mmスタンダード活動以前に遡り、GJG（Global Joint Guidance：300mm化に関するデバイスメーカーのコンソーシアムであるI300IとJ300を中心として提案された、デバイスメーカー共通の要望事項をまとめた300mm半導体工場のための業界ガイドライン）の作成において、AMHS (Automatied Material Handring Systems) 制御に関する知見を発揮し、スタンダードの基盤となるコンセプト形成に貢献されました。その後、SEMIスタンダード活動では、300mmウェーハ搬送用容器（キャリア）の自動搬送仕様であるAMHSのスタンダード化に参画し、以来、AMHSタスクフォースのリーダーとして、長年にわたり自動搬送のスタンダードの改良を継続されました。2009年には、数年にわたり検討されてきた新規スタンダード「New Standards: SPECIFICATION FOR AMHS SEM (AMHS SEM)」を発行に導かれました（SEMI E153-1109として出版済）。

伊賀氏は、SIA（Semiconductor Industry Association, 米国半導体工業会）の発議と要請によりSEMIトレーサビリティー委員会において取り組まれた、認証機能システムを導入した半導体電子部品のサプライチェーンにおける模倣品対策の標準化に大きく貢献されました。その結果として、2008年11月にSEMI T20「邦題：半導体および関連製品の認証システムの仕組みの仕様」が発行されています。その際、日米間の国際タスクフォースを牽引し、日本側の意見を的確にまとめ、ビジネス環境に基づく要件仕様の実現に成功されました。同氏の活動はSEMIスタンダードの枠を越え、社団法人電子情報技術産業協会(JEITA)内の関連組織や、経済産業省傘下の国内IT技術団体組織、さらには関連の国外標準開発機関とも連携をとられました。さらに最近では、同分野のISO（International Organization for Standardization, 国際標準化機構）化の機運が生じてきたことを受け、そのSEMI T20への影響の観点から、ISOの委員会にも参画されています。

「JRSC特別賞」は、河合 直行ならびに川口 雅昭の二氏に授与されます。
河合氏は、2006年よりシリコンウェーハ委員会のCo-Chairとして、同委員会傘下の国際タスクフォースにおける多数のスタンダード開発で、欧米の委員との調整に貢献されました。また、JEITAシリコン専門委員会の幹事も兼務され、JEITAとSEMIの交流やSEMIスタンダードの地位向上に大きく貢献されました。

川口氏は、特に450mm International PICタスクフォースの活動において、AMHSメーカーからの視点に留まらず、大局的な観点から数多くの有効な提案を行い、より業界のニーズにマッチしたスタンダードの開発に貢献されました。

浅川輝雄氏の写真はこちらをダウンロードしてお使いください。

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