SEMIテクノロジーシンポジウム(STS) 2009 講演論文募集のお知らせ
2009年4月21日
SEMIテクノロジーシンポジウム(STS) 2009 講演論文募集のお知らせ
応募締め切りは2009年6月19日
SEMI（本部：米国カリフォルニア州サンノゼ）は、2009年12月に幕張メッセ国際会議場で開催する「SEMIテクノロジーシンポジウム(STS) 2009」で講演いただく論文を募集いたします。
SEMIテクノロジーシンポジウムは、1982年より、SEMI主催の半導体製造装置・部品材料の総合イベント「セミコン・ジャパン」で開催している半導体製造技術のシンポジウムで、今年で28回目の開催となります。毎年、半導体の技術動向や技術課題を洗い出すとともに、最新技術を提示する場として、また、半導体メーカーと製造装置・材料メーカーのグローバルな技術交流の場として、高い評価をいただいています。昨年は、10の技術セッションで92講演が行われ、のべ1,098名が聴講されました。
本年の講演論文の募集要項は、下記の通りです。
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応募方法： |
論文骨子を和文400文字、または英文200～250ワードにまとめ、その他必要事項（応募セッション名、発表者名、所属先名、部署役職名、住所、電話番号、FAX番号、E-mail）とともに電子メールでご応募ください。
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論文の要件： |
次のセッションの何れかの分野に該当するもので、日本語または英語で発表されるもの。＜セッション： 多層配線、エッチング、リソグラフィ、マスク、マニュファクチャリングサイエンス、先端デバイス、パッケージング、テスト、マイクロシステム/MEMS＞ |
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応募締切り： |
2009年6月19日（金） |
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論文の採択： |
SEMIテクノロジーシンポジウム プログラム委員会において選考し、結果は7月中旬以降、応募者宛てに順次ご連絡します。 |
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問い合わせ先： |
SEMIジャパン プログラム部 山本
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＜参考＞
■ SEMIテクノロジーシンポジウム（STS）：
毎年12月、セミコン・ジャパンで開催している技術シンポジウム。1982年に第1回を開催、2009年で28回目を迎える。半導体プロセス・デバイス技術を中心に、先端技術動向、技術課題、実用化技術が第一線の技術者から発表される。2008年のSTSでは、10の技術セッションで92講演が行われ、のべ1,098人が聴講した。本年は、12月2日（水）～4日（金）の3日間、幕張メッセ国際会議場で開催予定。
また本年のプログラムは、10月初旬に発表予定。
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