SEMI半導体製造装置ソフトウェア規格用語集（一部）

　ARAMS

E58

自動化による信頼性, 有用性, および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト, 挙動, およびサービス

Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services

　CEM

E120

共通装置モデル（CEM）の仕様

Specification for the Common Equipment Model (CEM)

　CIDR/W

E99

キャリアIDリーダ／ライタ機能スタンダード：コンセプト，挙動，およびサービスに関する仕様

The Carrier ID Reader/Writer Functional Standard

　CIMFW

E81

CIMフレームワークドメインアーキテクチャに関する暫定仕様

Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture

　CIMFW

E86

CIMフレームワークファクトリ従業員コンポーネントに関する暫定仕様

Provisional Specification for CIM Framework Factory Labor Component

　CIMFW

E96

CIMフレームワークテクニカルアーキテクチャに関するガイド

Guide for CIM Framework Technical Architecture

　CIMFW

E97

CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様

Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations

　CIMFW

E105

CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様

Provisional Specification for CIM Framework Scheduling Component

　CJM

E94

コントロールジョブ管理（CJM）の仕様

Specification for Control Job Management

　CMS

E87

キャリア管理（CMS）のための仕様

Specification for Carrier Management (CMS)

　CTMC

E38

クラスタツールモジュール通信（CTMC）

Cluster Tool Module Communications (CTMC)

　DCM

E134

データ収集管理の仕様

Specification for Data Collection Management

　ECA

E132

装置クライアントの認証（Authentication）および権限付与（Authorization）のための仕様

Specification for Equipment Client Authentication and Authorization

　EDA

E14

装置データ取得（EDA）のためのガイド

Guide for Equipment Data Acquisition (EDA)

　EPI/O

E84

エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様

Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface

　EPT

E116

装置性能トラッキング（EPT）のための仕様

Specification for Equipment Performance Tracking

　EQIP

E126

装置品質情報パラメータ（EQIP）に関する仕様

Specification for Equipment Quality Information Parameters (EQIP)

　EqSD

E125

装置自己記述（EqSD）の仕様

Specification for Equipment Self Description (EqSD)

　ERS

E53

イベントレポート

Event Reporting

　GEM

E30

製造装置の通信およびコントロールのための包括的モデル（GEM）

Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)

　HCI

E95

半導体製造装置のヒューマンインタフェースに関する仕様

Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment

　HSEM

E123

ハンドラ装置の特定装置モデル（HSEM）のスタンダード

Standard for Handler Equipment Specific Equipment Model (HSEM)

　HSMS

E37

高速SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス

High-Speed SECS Message Services (HSMS) Generic Services

　HSMS-GS

E37.2

高速SECSメッセージサービス　ジェネラルセッション（HSMS-GS）

High-Speed SECS Message Services General Session (HSMS-GS)

　IBSEM

E82

工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM）

Specification for Interbay/Intrabay AMHS SEM (IBSEM)

　IMMC

E127

装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC）

Specification for Integrated Measurement Module Communications

　ISEM

E30.1

検査および評価特定装置モデル（ISEM）

Inspection and Review Specific Equipment Model (ISEM)

　MDF

G85

マップデータ・フォーマット用仕様

Specification for MAP Data Format

　MDI

G81

マップデータ・アイテムの仕様

Specification for MAP Data Items

　MMM

E32

材料搬送管理スタンダード（MMM）

Material Movement Management (MMM)

　OBEM

E98

オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード

Provisional Standard for The Object-Based Equipment Model (OBEM)

　OSS

E39

オブジェクトサービススタンダード：概念，挙動およびサービス

Object Services Standard

　PCS

E133

自動プロセス制御システムインタフェースの暫定仕様

Provisional Specification for Automated Process Control Systems Interface

　PJM

E40

プロセス管理スタンダード

Standard for Processing Management

　PSEM

E91

プローバ独自の装置モデルに関する仕様（PSEM）

Specification for Prober Specific Equipment Model (PSEM)

　PSEM300

E130

300mm環境のプローバ専用装置モデル（PSEM300）に関する仕様

Specification for Prober Specific Equipment Model for 300 mm Environment (PSEM)

　RaP

E139

レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP）

Specification for Recipe and Parameter Management (RaP)

　RMS

E42

レシピ管理スタンダード：コンセプト,挙動, およびメッセージサービス

Recipe Management Standard

　RPMS

E109

レチクルおよびポッド管理に関する仕様（RPMS）

Specification for Reticle and Pod Management (RPMS)

　SAN

E54

センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード

Sensor/Actuator Network Standard

　SECS-I

E4

半導体製造装置通信スタンダード1　メッセージトランスファ（SECS-I）

SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)

　SECS-II

E5

半導体製造装置通信スタンダード2　メッセージ内容（SECS-II）

SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)

　StockerSEM

E88

AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様

Specification for AMHS Storage SEM (Stocker SEM)

　STS

E90

基板トラッキング仕様

Specification for Substrate Tracking

　TS-CLOCK

E148

時刻同期とTS-CLOCK オブジェクト定義の仕様

Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-CLOCK Object

　TSEM

E122

テスト装置の特定装置モデル（TSEM）のスタンダード

Standard for Tester Equipment Specific Equipment Model (TSEM)

　WIDR

E118

ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様-ウェーハIDリーダの機能スタンダード：概念，動作，サービス

Specification for Wafer ID Reader Communication Interface – the Wafer ID Reader Functional Standard: Concepts, Behavior, and Services

　XML

E138

半導体生産系で共通に使われる情報の構成要素のXML表現

XML Semiconductor Common Components

　XML

E145

XMLにおける測定単位記号に関する分類

Classification for Measurement Unit Symbols

　XML GSL

E121

半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド

Guide for Style ＆ Usage of XML for Semiconductor Manufacturing Applications

　XML.MS

E128

XMLメッセージ構造に関する暫定仕様

Provisional Specification for XML Message Structures

　YMS-LDF

E107

歩留まり管理システムに電気的不良データを渡すためのデータフォーマット

Specification of Electric Failure Link Data Format for Yield Management System