[보도자료] SEMI, 반도체 장비 간 통신구축을 위한 국제 표준 한글본 최초 발간

2013.08.23ㅡSEMI(국제반도체장비재료협회)는 “차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 사업”의 일환으로 진행된 국제표준 한글화 사업을 한국반도체산업협회와 추진하였으며 이의 결과물로 반도체 장비 간 통신 구축을 위한 국제표준의 한글본을 공식 발간한다.

금년에 최초로 한글화한 국제표준은 한국 정보 및 제어 기술위원회(Korea Information & Control Technical Committee)가 SEMI 소프트웨어 표준 가운데 국내 반도체 업계의 활용도가 높은 9개 표준을 선정하여 한글화하였다.

그간 국내 반도체 업계들은 영문버전의 SEMI 표준을 그대로 사용함에 따라 국제표준의 정확한 이해와 활용에 많은 애로가 있었으나, 금번 국제표준의 한글화로 오적용 사례를 예방하고 나아가 업무 생산성 및 편의성도 크게 향상될 것으로 기대하고 있다. 또한, 국제표준의 활용을 확대하기 위해 활용도가 높은 국제표준을 추가적으로 선정하여 한글화 작업을 추진할 예정이다.

한편, 지난 7월 한국 정보 및 제어 기술위원회가 발의한 반도체 제조공정자동화에 관한 표준 E94 개정안이 국제표준으로 채택되었다. 이는 올해 1월 반도체 장비 간 통신 소프트웨어 기술 표준(SEMI E5-0712)에 이어 두 번째로 국내 반도체 공정기술이 국제표준으로 채택된 것이다.

E94 표준 개정은 수율 및 생산성에 직접적인 영향을 주는 캐리어를 변경할 시 발생 가능한 제약조건을 바꿔 설비단계에서 발생하는 불필요한 대기시간의 단축이 목적이다. 개정안을 제안한 삼성SDS의 김형수 책임은 ‘이번 개정안이 적용되면 설비가동률 상승 및 반도체 생산성 증대에 큰 효과를 낼 것으로 기대된다.’고 밝혔다.

 

 

 

 - 참 고 자 료 -

 

[반도체 장비 간 통신구축을 위한 핵심 표준 9개 목차]

반도체 소자업체의 자동화 지원을 위해 만들어진 공동의 프로토콜로써 다양한 반도체장비의 통신을 표준화 하여 전체적인 효율화를 추구하는데 사용된다.

 

1. SEMI E5-0712 SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메시지
2. SEMI E30-0611 제조 장비 제어와 커뮤니케이션을 위한 일반 모델
3. SEMI E37-0413 HSMS의 일반적 서비스
4. SEMI E39-0703 객체 서비스 표준: 콘셉트, 동작, 서비스
5. SEMI E40-0312 프로세싱 관리 표준
6. SEMI E84-1109 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양
7. SEMI E87-0312 캐리어 관리 사양
8. SEMI E90-0312 기판 추적 사양
9. SEMI E94-0312 컨트롤 잡 관리 사양

 

특히, SEMI 장비 커뮤니케이션 표준(SECSⅠ/Ⅱ)은 반도체 장비와 외부 컴퓨터 간 인터페이스용 데이타 통신 표준으로 통신이 가능한 환경을 구축하는 툴이다. 제조 장비 제어와 커뮤니케이션을 위한 일반 모델(GEM)은  SECS 프로토콜을 기반으로 한 장비 통신 모델로 실제 생산 과정의 공장 프로그램 장비에 대한 모니터링, 제어요청 등을 비롯한 송수신 메시지나 장비 상태를 사전 정의한다.

 

 

[SEMI Standards 소개]

 

1. SEMI 국제표준

- 1973년 미국에서 시작되었으며 현재 유럽, 일본, 대만, 중국, 한국에서 활동에 참여하고 있다. SEMI 표준은 실리콘 웨이퍼, 장비 자동화(하드웨어, 소프트웨어), 패키징, 설비 및 안전 등 23개 분야에 약 850여 개가 제정되어 있음

2. SEMI 국제표준 조직

- 2013년 기준 전 세계 4,400명 이상이 SEMI 국제표준 회원으로 활동

- SEMI 국제표준 조직은 SEMI 국제표준 이사회(International Standards Committee, ISC), 지역위원회(Regional Standards Committee, RSC) 및 실제규격 제정 작업을 담당하는 다수의 기술위원회(Technical Committee)와 산하의 분과위원회, 워킹 그룹, 태스크포스팀 등으로 구성

3. 한국 주요 표준활동

- 한국은 Facility와 FPD, I&C 분야의 공식 기술위원회를 가지고 있으며 관련 표준을 개발 중

4. 한국 정보 및 제어 기술위원회(I&C Technical Committee)

- 삼성전자, SK하이닉스, 세메스, 주성엔지니어링, ASM, 도쿄일렉트론, 아이티 이노베이션, 미라콤, 삼성SDS 등의 반도체업체로 구성되어 있으며 약 20여명의 위원이 SEMI 국제표준 제정활동에 참여하고 있음

 

 

 

SEMI에 관하여

SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International, 국제반도체 장비재료협회)는 1970년에 미국 마운틴 뷰에서 설립되었고, 세계 반도체 장비, 재료 산업 및 평판 디스플레이(FPD), MEMS, NANO, 태양광 산업을 대표하는 세계 유일의 국제 협회입니다. 한국 내 200여 개 회원사를 포함하여 전 세계적으로 1,900여개의 회원사들로 구성되어 있으며, 캘리포니아 산호세에 본부를 두고 서울, 방갈로르, 베이징, 베를린, 브뤼셀, 그르노블, 신주, 모스크바, 상하이, 싱가포르, 도쿄, 워싱턴 D.C에 사무국을 갖고 국제표준규격(Standards), 무역전시회(SEMICON Exhibition), 마켓통계, 기술 심포지엄, 대정부관계 등의 활동을 펴오고 있습니다.