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• SEMI 회원사 소식: 케이씨텍,日히타치와 특허합의…슬러리 '날개'

2013.04.29ㅡ디스플레이와 반도체 장비기업 케이씨텍 (5,370원 상승30 -0.6%)이 해외 경쟁사와의 반도체소재 관련 특허소송 건을 해결하면서 관련 사업이 한층 탄력을 받게 될 전망이다.

케이씨텍은 디스플레이장비에 이어 신사업으로 추진 중인 반도체소재 '슬러리'와 관련 국내와 미국 등지에서 일본 히타치케미칼과 진행해온 특허소송을 양사 합의 하에 취하했다고 25일 밝혔다.

케 이씨텍 측은 "이번 소송 취하는 양사가 체결된 '제소금지합의'(Non Assertion Agreement)에 따른 것"이라며 "이번 합의로 슬러리 사업과 관련한 불확실성을 해소하고 관련 사업을 지속 강화할 수 있게 됐다"고 설명했다.

슬러리는 반도체 원판(웨이퍼)을 화학 기계적으로 평탄하게 가공하는 연마(CMP) 공정에 쓰이는 소재다. 케이씨텍은 회로선폭이 나노미터 이하인 차세대 반도체 공정용 세리아 슬러리를 주력 생산 중이다.

양사간 특허전은 히타치가 2011년 11월 미국에서 케이씨텍을 상대로 세리아 슬러리 특허침해소송을 제기하면서 시작됐다. 케이씨텍은 이에 대응해 지난해 7월 국내에서 히타치를 상대로 특허무효심판을 제기했다.

하지만 이번에 양사가 특허소송을 합의 하에 취하하면서 케이씨텍은 디스플레이장비에 이어 새롭게 추진 중인 반도체소재사업이 한층 탄력을 받게 될 전망이다.

한 편 케이씨텍은 2007년 SK하이닉스에 슬러리를 공급하면서 반도체소재 사업에 처음 진입했으며, 이후 삼성전자와 동부하이텍 등과도 거래하면서 관련 매출을 꾸준히 늘려왔다. 이 회사는 지난해 슬러리에서만 전체 매출(1153억원)의 30% 수준인 350억원을 올렸다. 

머니투데이