[SEMI:회원사] OCI머티리얼즈, ′다이실란 제조 기술′ 신기술 인증

SEMI 회원사 소식을 알려드립니다!

  • SEMI 회원사 소식: OCI머티리얼즈, ′다이실란 제조 기술′ 신기술 인증

2012.12.21 ㅡ 특수가스 전문업체인 OCI머티리얼즈는 반도체 공정에 사용되는 다이실란 제조 기술이 지식경제부 기술표준원으로부터 신기술 인증을 받았다고 18일 밝혔다.

이 기술은 OCI머티리얼즈가 독자 개발한 것으로 열분해 반응을 이용, 반도체 공정에서 증착용(증기를 물체 표면에 얇은 막으로 입히는 것) 가스로 쓰이는 고순도 다이실란을 제조하는 방식이다.

우리나라는 현재 다이실란을 전량 수입에 의존하고 있는데 전 세계적인 공급 부족으로 수입 단가가 높아 반도체 생산에 부담이 되고 있다.

회사 관계자는 "신기술 확보로 공급 부족 해결은 물론 상당한 수입대체 효과가 기대되며 국내 반도체 산업 발전에도 기여할 것"이라고 강조했다.

이 회사는 내년 초 새 제조 기술에 대해 국내외에 특허출원도 할 계획이다.

OCI머티리얼즈는 지난달 경북 영주에 연산 10톤 규모의 다이실란 제조 공장을 완공하고 본격 가동에 들어갔다.

출처:  아시아투데이