[SEMI 회원사 소식] 케이맥, 반도체 극초박막 분석기 개발

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2012 7 5(목 ) -분석기기 전문기업 케이맥(대표 이중환)은 3일 세계 최초로 개발한 반도체 극초박막 분석기기 '나노 마이스'(Nano-MEIS·사진)의 시연회를 열었다.

이번 제품은 케이맥이 반도체 시장에 진출하기 위해 5년 동안 개발한 반도체 공정용 초정밀 분석기기로 매우 얇은 원자층의 두께까지 측정할 수 있는 '중에너지 이온산란분석'(MEIS) 기술을 사용했다.

특히 12시간 이상 소요되는 기존 장비의 분석시간을 30분 이하로 대폭 낮춰 일부 연구용으로만 쓰이던 고성능 기기를 반도체 공정에 직접 적용하는 것이 가능해졌다는 것이 케이맥의 설명이다.

케이맥 관계자는 "극도로 미세한 영역을 측정하는 것은 반도체 성능 향상의 핵심기술로 이번 제품은 분석시간 단축, 기기 소형화, 측정의 정확성이라는 성과를 모두 이뤄냈다"며 "향후 세계 반도체 시장에서 큰 반향을 일으킬 것으로 기대한다"고 말했다.