SEMI - 書籍

半導体プロセス教本【第5版】 + 副読本「一問一答集」セット / SEMIソフトウェアスタンダード「SECS/GEM」セミナーテキスト2016年版

 

半導体プロセス教本【第5版】副読本「一問一答集」セット

社内の若手教育、新人研修に最適の半導体プロセス教本と副読本のセットです
最先端半導体プロセス技術を分かりやすく解説。拡散・注入、リソグラフィ、エッチング、多層配線の各技術をカバーしています。

プロセス教本第5版

半導体プロセス教本  (2012年第5版発行)
多くの技術者教育に使用されている「半導体プロセス教本」の改訂第5版*です。本書は、半導体プロセスの初歩から最先端までを、複雑な数式や化学式に頼らず、直感に訴える内容で構成されており、デバイスメーカーの技術者の方、装置・材 料メーカー、熟練技能者など、幅広い方々にプロセス技術の基本的なコンセプトを理解していただけます。 CD-ROM付。(出水 清史監修)

*第5版で新たに加わった主な内容
前版の内容を見直し、拡散・注入、リソグラフィ、エッチング、多層配線の最新情報を盛り込みました。代表的なメモリデバイス、DRAMとFlashの説明 (第1章 半導体デバイスができるまで)ゲート絶縁膜の窒化とTDDBの詳解 (第2章 拡散・注入)自己組織化リソグラフィ (第3章 リソグラフィ)近年注目を集めるスルーシリコンビア(TSV)技術に関する解説 (第6章 多層配線(2))

※ 教本と副読本のセット販売のみ。教本単品、副読本単品はお取扱いいたしておりません。
※ 5組、10組、20組セットのまとめ買いもご用意しております。まとめ購入はこちらから。

 

5,000円(税別)

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SEMIソフトウェアスタンダード「SECS/GEM」セミナーテキスト 2017年版
― 工場システム/半導体製造装置間の通信スタンダードの基本の解説 ―

2017年6月27日―6月28日の2日間に開催された「SECS/GEM」を解説したセミナーのテキストです。
セミナー当日の各スライドのほか、スライドごとの解説文も記載しております。

テキスト作成者: 座間コンサルティング 坂本見恒氏

セミナー解説の範囲は次のとおりです。

  • SECS/GEM は半導体製造工場の自動化やデータ管理にとって必須の標準仕様です。
  • しかしながら、特殊な仕様であるため理解が難しいといわれています。
  • このセミナーでは図を豊富に使い、SECS/GEM を体系的に、わかりやすく解説いたします。
  • 解説する標準仕様の範囲
    • メッセージの伝送方法(SECS-IおよびHSMS)
    • メッセージの形式(SECS-II)
    • メッセージの使い方(GEM)

SECS/GEMとは、製造装置ソフトウェア分野の4規格(SEMI E4、SEMI E5、SEMI E37、SEMI E30)で構成されるスタンダード群の通称です。

セミナー解説の範囲のさらなる詳細は、当セミナーの案内サイトをご参照ください。

ご注意: 本セミナーテキストには、該当するSEMIスタンダード本文は含まれておりません。

体裁

約250ページ(両面)A4版のハードコピー

価格(税込)

 

一般

26,000円

SEMI会員

19,500円

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SEMIスタンダード本文のご購入については、こちらをご覧ください。

  •  「SEMIソフトウェアスタンダード教本」は、2015年5月をもちまして、販売を終了いたしました。
  • 「グローバルスタンダードへの挑戦 - 300mm半導体工場へ向けた標準化の歴史 -」は、2011年3月をもちまして、販売を終了いたしました。