SEMI通信 2017年6月号 SEMIスタンダード情報

装置データ収集(EDA)ワーキンググループが日本地区に誕生


SEMIスタンダード日本地区 Information & Control 委員会
EDA(Equipment Data Acquisition)ワーキンググループリーダー
座間コンサルティング 坂本見恒

 

SEMIスタンダード日本地区 Information & Control 委員会(I&CC)にEDAワーキンググループが設立されました。このワーキンググループでは、既に発行されているEDA (Equipment Data Acquisition) 関係のスタンダードについて議論します。

 

表1 EDAスタンダードのラインアップ

 

認証と権限管理

データ収集

装置データ記述

機能仕様

E132 Client Authentication and Authorization (ECA)

E134 Data Collection Management (DCM)

E120 Common Equipment Model (CEM)

E125 Equipment Self Description (EqSD)

実装仕様

E132.1 SOAP Binding for ECA

E134.1 SOAP Binding for DCM

E120.1 XML Schema for CEM

E125.1 SOAP Binding fro EqSD

参照仕様

E128 XML Message Structure

E138 XML Common Component

E145 Measurement Unit in XML

 

EDAの背景と状況

EDAスタンダードは、デバイスメーカの要請を受けて2000年~2005年頃に初版が発行され、その後2011年までに第2版が発行されました。下の図で示されるように、EDAスタンダードはそれまでに開発されたスタンダードで構築された情報と制御のモデルを背景に持っています。

 

SEMI通信6月号スタンダード情報 図1 

 

EDAスタンダードがそれ以前のものと異なる点は、装置からのデータ収集にウェブサービスを適用していることです。ウェブサービスはインターネット上で日常的に利用される情報通信に欠かすことできない技術となっています。半導体製造装置にとっても、ウェブサービスにより新しいアプリケーションが可能になることを期待して、EDAスタンダードが実際の装置データ収集に展開されています。

 

SEMI通信6月号スタンダード情報 図2

 

EDAスタンダードの見直し

EDAスタンダードについては、2011年の第2版発行以後は見直されてきませんでした。ところが最近改めて見直してみると、様々な疑問が沸いてきました。

例えば、データを収集するクライアントの認証に適用する技術についての疑問です。ウェブサービスでのクライアント認証の技術には様々な選択肢があるようです。そのような状況で、現在EDAスタンダードに書かれていることが現実の環境で妥当なのでしょうか?それぞれ異なる情報セキュリティ環境において、それぞれ異なるクライアント認証を適用していることがあるかもしれません。また、このことに限らずスタンダードの見直しを進めると様々な疑問が沸いてくることが想像されます。

 

EDAワーキンググループの設立

SEMIスタンダードは、問題や課題と、それらの問題解決の知識を共有し、その結果合意されたことを文章化するものです。既にあるSEMIスタンダードについての疑問を解消するためにも、まずは問題と課題、そしてその解決方法を話し合い、その知識を共有することが必要であると考えられます。

このような考えから、SEMIスタンダード活動の中で、EDAスタンダードについて話ができるワーキンググループを提案を2017年4月21日に開催された日本地区I&C委員会にて為し、承認をいただき、EDAワーキンググループを設立することができました。

今後、このワーキンググループで EDAスタンダードの様々な疑問点を話し合い、その問題点、課題をまとめ、問題解決の知識の共有を進めます。また、その結果スタンダードを直す必要が出てくれば、I&C委員会に改善を求めるということがあるかもしれません。更に、将来的には、EDAスタンダードのセミナー開催も企画していきたいと考えています。

 

SEMI通信6月号スタンダード情報 図3

 

このワーキンググループに関心をお持ちの皆さま、賛同していただける皆さまからのご連絡をお願いします。

 

連絡先:SEMIジャパン スタンダード & EHS 部 岩村瑞江
03-3222-6018(部代表) miwamura@semi.org