2018FLEX Japan 出展社情報 株式会社フジキン

 

株式会社フジキン

URL : https://www.fujikin.co.jp/

Tel : 06-6372-7141

Mail : info@fujikin.co.jp

会社概要

特殊バルブ機器類だけでなく、超精密ながれ(流体)制御システムにおけるトップランナーとして世界NO.1企業へと成長を遂げたフジキンは、極限の技術が要求される陸・海・空の多彩なフィールドでフジキンの最先端テクノロジーが活かされています。

みどころ

MEMS技術を活用したワイドレンジ圧力-真空センサ- 測定可能領域:1.0E-3Pa台~0.3MPa
特徴 Si基板上にNi-Cr膜を成膜しカンチレーバーを作成。 Ni-Cr膜に通電することで、内蔵している2個の熱電対に 温度差が生じ、温度差から圧力-真空を測定するセンサ。
来の熱式センサでは得られなかった領域まで 測定可能なセンサ

製品/サービス

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Fujikin Incorporated

URL : https://www.fujikin.co.jp/

Tel : 06-6372-7141

Mail : info@fujikin.co.jp

Company Info

As well as special valve instrumentation, advanced technology of Fujikin is kept alive in various fields of the land, the sea, the sky where an extreme technique is required as the first runner in the super precision fluid control system in Fujikin which accomplished growth to the world NO .1 company.

Highlights

Wide range pressure-- vacuum sensor utilizing MEMS technology 。
Measurable area: 1.0E - 3Pa range to 0.3MPa   Characteristic A Ni-Cr film was formed on a Si substrate to create a cantilever.
By energizing the Ni-Cr film, two built-in thermocouples Sensor that measures the pressure-vacuum from temperature difference due to temperature difference. Up to the area that could not be obtained with conventional  thermal sensors Measurable sensor。

Products/Services

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GOLD SPONSORS

株式会社ディスコ
ジェムアルト株式会社

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株式会社アルバック
ユアサ機器株式会社