2018FLEX Japan 出展社情報 SPPテクノロジーズ株式会社

ロゴ:SPPテクノロジーズ株式会社

SPPテクノロジーズ株式会社

URL : http://www.spp-technologies.co.jp/

Tel : 06-6489-5997

Mail : sales@spp-technologies.co.jp

会社概要

SPPテクノロジーズは、MEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチングや厚膜CVD、圧電薄膜スパッタ等の装置も取り扱っております。 また、Si深掘り装置においては、2018年6月で発売24年目を迎えるトップメーカです。 さらに、3次元実装(3D)やパワー半導体、MEMS、LEDなどのデバイス向けソリューションを提案しています。

みどころ

新開発したシリコン深掘り装置や化合物エッチング装置、プラズマダイシング装置、ミニマル装置などの最新技術を紹介します。

製品/サービス

  • シリコン深掘り(DRIE)装置(ASE-Proxion、Predeus、Pegasus、Pegasus300、SRE)
  • 犠牲層エッチング装置(SLE-Vetelgeuse・SPTS社Primaxx-uEtch、SPTS社XACTIX-Xetch)
  • SiC、化合物/酸化膜エッチング装置(APS-Sirius、Spica) ・プラズマCVD装置(Cetus、SPTS社Delta)
  • スパッタ(PVD)装置(SPTS社Sigma) ・熱処理装置(SPT USA社AVP/RVP/RVP300plus)
  • ミニマル装置(Si深掘り、メタルドライエッチング、プラズマTEOS-CVD、SiN プラズマCVD)

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ロゴ:SPPテクノロジーズ株式会社

SPP Technologies Co., Ltd.

URL : http://www.spp-technologies.co.jp/

Tel : 06-6489-5997

Mail : sales@spp-technologies.co.jp

Company Info

SPP Technologies offers silicon deep RIE, sacrificial layer etching, thick film CVD, PVD and  various process equipments and technologies. We are as leading supplier of silicon deep RIE for MEMS and Semiconductor, and have 24nd years from DRIE sales. And we propose some solutions for 3D-IC, power device, MEMS, LED, and so on.

Highlights

SPT will present some latest technologies regarding new developed DRIE,  Compound Semi. etching system, Minimal system, and so on.

Products/Services

  • Si Deep Reactive Ion Etching (DRIE) System(ASE-Proxion, Predeus, Pegasus,  Pegasus300, SRE)
  • Plasma Dicing System(Mosaic) ・Sacrificial Layer Etching System(SLE-Vetelgeuse, SPTS-Primaxx-uEtch,  XACTIX-Xetch)
  • SiC, Compound Semi/Oxide Etching System(APS-Sirius, Spica)
  • Plasma Enhanced CVD System(Cetus, SPTS-Delta) ・PVD System(SPTS-Sigma)
  • Furnace System(SPT USA-AVP/RVP/RVP-300) ・Minimal System(DRIE, Metal Plasma Etcher, Plasma TEOS-CVD, SiN Plasma CVD)

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GOLD SPONSORS

株式会社ディスコ
ジェムアルト株式会社

SILVER SPONSORS

株式会社アルバック
ユアサ機器株式会社