SEMI Tutorial 「SEMIソフトウェアスタンダードGEM300」 2012年10月4日（木）

SEMI Tutorial — SEMIソフトウェアスタンダードGEM300

–　半導体製造装置の300mm自動化スタンダードの解説　– 

  • GEM300は、300mm半導体製造における必須科目ですが、理解が難しいといわれています。
  • そんなGEM300を、GEM300スタンダード作成に直接携わっている経験豊富な講師が図を中心にわかりやすく体系的に説明していきます。
  • 自動化（装置運転）のスタンダードであるPJM（E40）、CMS（E87）、STS（E90）、CJM（E94）などの基本概念と詳細内容を解説いたします。

テキスト:
SEMIソフトウェアスタンダード教本の関連箇所を基にした印刷資料をご提供します（配付資料に、SEMI E90などの関連スタンダード本文は含まれません）。

開催概要

開催日時　：　　

2012年10月4日（木）10:00-18:00

開催場所　：　

SEMIジャパン　大島ビル5F　1、2、3会議室

講　師　：

大日本スクリーン製造（株）半導体機器カンパニー 洗浄装置技術統轄部　高崎　義久 氏

※日本地区I&C委員会GEM300タスクフォース共同リーダー

 

I&C（Information & Control）委員会は、
SEMIスタンダード活動の製造装置ソフトウェア分野の文書を開発しています。
主　催　： SEMI

お申込

参加費　※(1)~(3)いずれも、当日配付の印刷資料および昼食が付きます。

9月19日（水）まで 9月20日（木）以降 お申込
(1) 1　名　様　：　

15,000円（消費税別）

15,750円（消費税込）

20,000円（消費税別）

21,000円（消費税込）

  
(2) 3名様パック：

33,000円（消費税別）

34,650円（消費税込）

 なし

(3)

「SEMIソフトウェアスタンダード教本」
とのパック　（1名様1ライセンス）　：

25,000円（消費税別）

26,250円（消費税込）

 なし

「SEMIソフトウェアスタンダード教本（PDFダウンロード）」商品の詳細はこちらです。

(3)の「SEMIソフトウェアスタンダード教本」とのパック商品については、「SEMIソフトウェアスタンダード教本」データをセミナー当日お渡しするのではなく、お申込日を起算日として10日目以降にPDFファイルをダウンロードしていただく形となります（ダウンロード用URLをお申込者のEメールアドレスにお送りします）。

キャンセル

お申込日を起算日として10日目以降及び9月20日(木)以降のキャンセル・変更はできません。

お申込者ご本人が参加できなくなった場合には、代理の方のご出席でお振替えください。万一、ご欠席の場合でも、参加費用全額を申し受けますので予めご了承下さい。

 

セミナー概要

難しいSEMIソフトウェアスタンダードGEM300を、図を中心にわかりやすく解説します！

SEMIソフトウェアスタンダードGEM300は、300mm半導体製造装置を運転するために、習得が必須といわれています。 しかし、それは、他のSEMIスタンダードと同様、スタンダードのソフトウェア分野で活動をしているエンジニアでさえも、当初大変理解の難しいものでした。そのため開発されたSEMIソフトウェアスタンダード教本は、図を中心に構成された、大変画期的な内容です。

本セミナーでは、そのソフトウェア教本でGEM300に関係するページをもとに、PJM：Process Job Management（SEMI E40）、CMS：Carrier Management Standard（SEMI E87）、STS：Substrate Tracking Standard（SEMI E90）、CJM：Control Job Management（SEMI E94）の基本概念、詳細内容と関連する内容を解説していきます（実装は含みません）。

具体的な範囲は、下図で青線で囲んである項目です。（OSS：：Object Service Standard（E39）の一部は含みますが、GEMは含みません。（ちなみに、赤線で囲んである範囲は、例年開催しているSEMI Tutorial「ソフトウェアスタンダードSECS/GEM」セミナーで解説しています。）

※このセミナーでは標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、その点、ご了承ください。

講師は、経験豊富な装置メーカーのエンジニアで、SEMIスタンダード I&C委員会（製造装置ソフトウェア分野の文書開発を行う）のGEM300タスクフォースの共同リーダーです。質疑応答の時間を随時設けますので、日頃の疑問点などを確認するチャンスが充分あります。

この機会にぜひご参加ください！

セミナー対象者

  • これらスタンダードに初めて取り組む方
  • 概要を理解していて、より詳細に知りたい方
  • 体系的に学びたい方
  • 日頃疑問に思っていることを解決したい方

GEM300の範囲の図

また、今回は、好評発売中の「SEMIソフトウェアスタンダード教本2008年版（PDFダウンロード）」の付いた、お得なパック商品もご用意しております。

2011年に実施した同セミナーの報告を掲載しておりますので、ぜひご参照ください。 

セミナースケジュール 

10:00

GEM300の概要説明

10:30

CarrierManagement(E87)CMS解説

12:00

昼食

13:00

ProcessJob(E40) PJM解説 & ControlJob(E94) CJM解説

15:30

休憩

15:45

SubstrateTracking(E90) STS解説

16:45

ObjectService(E39) OSS解説

17:15

まとめ

17:45

質疑応答

18:00

閉会

 

終了時間が前後する場合がありますので、ご了承ください。 

お問合せ先

お申込・お支払に関して
SEMIジャパン イベント受付
Tel: 03-3222-5993
Email: jeventinfo@semi.org

SEMI Tutorial『SEMIソフトウェアスタンダードGEM300』セミナー内容に関して
SEMIジャパン スタンダード部
Tel: 03-3222-6018
Email: jstandards@semi.org