SEMI Tutorial 「SEMIソフトウェアスタンダードGEM300」 2011年9月1日（木）　実施済み

SEMI Tutorial — SEMIソフトウェアスタンダードGEM300

–　半導体製造装置の300mm自動化スタンダードの解説　–

  • GEM300は、300mm半導体製造における必須科目ですが、理解が難しいといわれています。
  • そんなGEM300を、経験豊富な講師が図を中心にわかりやすく体系的に説明していきます。
  • 自動化（装置運転）のスタンダードであるPJM（E40）、CMS（E87）、STS（E90）、CJM（E94）などの基本概念と詳細内容を解説いたします。

テキスト:
SEMIソフトウェアスタンダード教本の関連箇所を基にした印刷資料をご提供します（配付資料に、SEMI E90などの関連スタンダード本文は含まれません）。

開催概要

開催日時　：　　

2011年9月1日（木）10:00-18:00

開催場所　：　

SEMIジャパン　大島ビル5F　ABC会議室

講　師　：

大日本スクリーン製造（株）半導体機器カンパニー 洗浄技術統轄部　高崎　義久 氏

主　催　：SEMI
  

お申込 ※満席になりました。お申込ありがとうございました。

参加費　※(1)~(3)いずれも、当日配付の印刷資料および昼食が付きます。

  8月17日（水）まで8月18日（木）以降満席になりましたので、お申込受付を終了しました。
(1)1　名　様　：　

15,000円（消費税別）

15,750円（消費税込）

20,000円（消費税別）

21,000円（消費税込）

 
(2)3名様パック：

33,000円（消費税別）

34,650円（消費税込）

なし 

(3)

「SEMIソフトウェアスタンダード教本」
とのパック　（1名様1ライセンス）　：

25,000円（消費税別）

26,250円（消費税込）

なし

「SEMIソフトウェアスタンダード教本（PDFダウンロード）」商品の詳細はこちらです。

(3)の「SEMIソフトウェアスタンダード教本」とのパック商品については、「SEMIソフトウェアスタンダード教本」データをセミナー当日お渡しするのではなく、お申込日を起算日として10日目以降にPDFファイルをダウンロードしていただく形となります（ダウンロード用URLをお申込者のEメールアドレスにお送りします）。そのため、一旦ダウンロードいただきますと、お申込のキャンセルはできませんので、ご注意ください。

キャンセル

お申込日を起算日として10日目以降及び8月17日(水)以降のキャンセル・変更はできません。

但し、上記(3)の「SEMIソフトウェアスタンダード教本」とのパック商品は、一旦「SEMIソフトウェアスタンダード教本」のデータをダウンロードいただきますと、お申込のキャンセルはできませんので、ご注意ください。

お申込者ご本人が参加できなくなった場合には、代理の方のご出席でお振替えください。万一、ご欠席の場合でも、参加費用全額を申し受けますので予めご了承下さい。

 

セミナー概要

難しいSEMIソフトウェアスタンダードGEM300を、図を中心にわかりやすく解説します！

SEMIソフトウェアスタンダードGEM300は、300mm半導体製造装置を運転するために、習得が必須といわれています。 しかし、それは、他のSEMIスタンダードと同様、スタンダードのソフトウェア分野で活動をしているエンジニアでさえも、当初大変理解の難しいものでした。そのため開発されたSEMIソフトウェアスタンダード教本は、図を中心に構成された、大変画期的な内容です。

本セミナーでは、そのソフトウェア教本でGEM300に関係するページをもとに、PJM：Process Job Management（SEMI E40）、CMS：Carrier Management Standard（SEMI E87）、STS：Substrate Tracking Standard（SEMI E90）、CJM：Control Job Management（SEMI E94）の基本概念、詳細内容と関連する内容を解説していきます（実装は含みません）。

具体的な範囲は、下図で青線で囲んである項目です。（OSS：：Object Service Standard（E39）の一部は含みますが、GEMは含みません。（ちなみに、赤線で囲んである範囲は、例年開催しているSEMI Tutorial「ソフトウェアスタンダードSECS/GEM」セミナーで解説しています。）

講師は、経験豊富な装置メーカーのエンジニアで、SEMIスタンダードのソフトウェア分野で現在活躍中のスタンダード委員です。質疑応答の時間を随時設けますので、日頃の疑問点などを確認するチャンスが充分あります。

この機会にぜひご参加ください！

セミナー対象者

  • これらスタンダードに初めて取り組む方
  • 概要を理解していて、より詳細に知りたい方
  • 体系的に学びたい方
  • 日頃疑問に思っていることを解決したい方

GEM300の範囲の図

また、今回は、好評発売中の「SEMIソフトウェアスタンダード教本2008年版（PDFダウンロード）」の付いた、お得なパック商品もご用意しております。

 

セミナースケジュール

 

10:00

GEM300の概要説明

10:30

CarrierManagement(E87)CMS解説

12:00

昼食

13:00

ProcessJob(E40) PJM解説 & ControlJob(E94) CJM解説

15:30

休憩

15:45

SubstrateTracking(E90) STS解説

16:45

ObjectService(E39) OSS解説

17:15

まとめ

17:45

質疑応答

18:00

閉会

 

 

お問合せ先

お申込・お支払に関して
SEMIジャパン イベント受付
Tel: 03-3222-5993
Email: jeventinfo@semi.org

SEMI Tutorial『SEMIソフトウェアスタンダードGEM300』セミナー内容に関して
SEMIジャパン スタンダード部
Tel: 03-3222-6018 
Email: jstandards@semi.org