SEMIスタンダード（規格）の番号の見方

Std-No_Designation-No

ハイフンの前（例：M1-0211のM1） →　規格の番号を意味します（固定）

分野ごとに異なるアルファベットが付されています。

アルファベット	分野の内容	分野の名称
E	製造装置に関するもの	製造装置ハードウェア（Equipment Automation / Hardware）製造装置ソフトウェア（Equipment Automation / Software）設備（Facilities）
F	設備（Facilities）に関するもの	設備（Facilities）
D	フラットパネルディスプレイ（FPD）に関するもの	フラットパネルディスプレイ（FPD）
C	薬液やガスに関するもの	ガス（Gases）プロセスケミカル（Process Chemicals）
M	材料に関するもの	材料（Materials）
MS	MEMSに関するもの	材料（Materials）
P	マイクロリソグラフィに関するもの	マイクロリソグラフィ（Microlithography）
G	パッケージに関するもの	パッケージング（Packaging）
PV	太陽光発電に関するもの	太陽光発電（Photovoltaic）
S	環境、健康、安全に関するもの	安全ガイドライン（Safety Guidelines）
MF	シリコンマテリアル＆テスト方法に関するもの	シリコンマテリアル＆テスト方法（Silicon Materials & Process Control）　 ※大分類では「材料」分野に入ります。
T	トレーサビリティに関するもの	トレーサビリティ（Traceability）

ハイフン以降の4桁は、出版年月

前の2桁は月（例：3月→03），後ろの2桁は年（例：2010年→10）

※ハイフン以降が2桁のみの場合には，1年に1回のみ出版されていた時代のもので，その2桁で出版年を表します。

ハイフン以降の4桁のさらに後ろのアルファベット

E	意味：編集上の修正（Editorial Change）技術的内容でなく編集上の誤りなどを修正したスタンダード。例：S8-0307E 2007年3月出版のスタンダードに編集上の修正が加えられたもの。
ReapprovedXXXX	意味：再承認（Reapproved）そのままの内容で再度承認されたスタンダード。例：E57-0600（Reapproved 0305） 2000年6月のスタンダードがそのままの内容で2005年3月に再度承認されたもの。
WithdrawnXXXX	意味：撤回（Withdrawn）出版停止が決まったスタンダード。撤回が決定となった後1年間は引き続き出版されるが，その後は最新版として出版されなくなる。例：E2-93（Withdrawn 1103） 1993年のスタンダードが2003年11月の出版サイクルで撤回とされ，2004年7月版まで引き続き出版されたが，それ以降は最新版として出版されなくなった。
アルファベットの小文字	意味：時限付き改訂（Delayed Revision）変更部分が有効になるのが次の（時限付きでない通常の）改訂（改訂年月を示す4桁の数字が変更になる）まで保留とされる。ただし，次の（通常）改訂以前に時限付き改訂部分を実装することは任意である。例：S2-0706a 2006年7月出版のスタンダードに時限付きで改訂されたスタンダード。「S2-0706a」版の後，さらに時限付改訂が行われると，「S2-0706b」となる。
redline	Redline文書（赤字が添えられたもの）は、旧版から現行版に改訂された部分を示す文書です。万が一Redline文書と現行版文書（赤字が添えられていないもの）に差異がある場合、現行版記載内容が優先されますのでご留意ください。例：S2-0724-redline 旧版からS2-0724への改訂部分が示されているもの。

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