SEMIスタンダード PV（Photovoltaic）技術委員会－日本地区PV委員会の活動進捗

SEMIスタンダード PV（Photovoltaic）技術委員会
－日本地区PV委員会の活動進捗－

昨年2009年5月にISC（国際スタンダード委員会）承認を得たことにより、「PV（Photovoltaic）技術委員会」（以下、日本地区PV委員会）が昨年来、SEMIスタンダード日本地区において正式に発足しております。
ここでは、PV委員会の設立の背景から最近の活動についてご紹介します。

1．委員会設立の背景

太陽光発電産業が世界の主要産業となるのに伴い、SEMIのステークホルダーの皆様からも同産業の健全な発展のために国際スタンダードを求める声が高まってきておりました。例えば、同産業における各サプライチェーンがより一層連携するためのインターフェース、業界永続発展のためのコストダウン、主要社会インフラとしての製品互換性、製造におけるEHS（環境、健康、および安全）などの重要性が増してきておりました。
一方、SEMIスタンダードの世界におきましては、欧米の動きが先行しており、2007年内には欧州地区PV委員会と北米地区PV委員会が正式に発足しました。このような状況を受けて、SEMIスタンダード日本地区におきましてもPV委員会発足の準備が2008年より進められて参りました。

2．日本地区PV委員会の発足

委員会幹事（Co-chair）として、高塚汎氏（三菱重工業／PVセルメーカー）、鹿島一日兒氏（コバレントマテリアル／材料メーカー）、浅川輝雄氏（東京エレクトロン／装置メーカー）の三氏がアサインされ、冒頭のISC承認を以って正式な技術委員会（欧米に続いてSEMIにおける三番目の地区として）が2009年5月、日本に発足しました。

3．日本地区PV委員会の活動状況

委員会発足以降、委員会会議（親委員会）ならびに傘下の専門分野別の分科会が多数開催され、以下のように、特定分野の標準化文書開発のために委員会が活動を委託しているタスクフォース（TF: Task Force）、ならびに、フォーカスポイントを掘り下げるために委員会がチャーターしたスタディーグループ（SG）が活動を展開中です。しかも、太陽光発電産業に関する各分野（セル、装置、材料、研究機関など）からバランスのとれた多数の参加者が得られています。

Japan PV Materials Task Force (TF)
PV Equipment Interface Specification (PV-EIS) Task Force (TF)
Safety SG
搬送（AMHS）SG

4．「Japan PV Materials TF」：

本タスクフォースは、PVセル、モジュールならびにシステムの製造に使用される材料に関連する仕様他の標準化を目的としており、活動のスコープ（範囲）としては以下の11の材料を含む（がそれらに限定されない）、となっています。

Substrates、TCO Films、Optical Enhancement Films、Conductive Interconnect、Insulator Materials、Absorber Films、PVB、EVA、Back sheet、Sputtering Targets、Starting Material （例えばUMG Si, Poly-si）

同TFのリーダーとしては、山道正明氏（独立行政法人産業技術総合研究所）ならびに石原隆氏（三菱電機株式会社中津川製作所）の二氏が就任されており、活動を牽引されています。

また、同TFにおいては下記の新規スタンダード案が既に開発され、日本地区PV委員会のバロット*第一号が、2010年の第一バロットサイクルに現在投じられています。（*バロットとは－SEMIスタンダードや安全ガイドラインとして出版されることを意図して開発された文書について、国際的コンセンサスを問うためのプロセス。SEMIのウェブサイト上で各技術委員会メンバーがオンライン投票。）

「Document #4799 － New Standard: Specification for Range of 5th Generation Substrate Sizes for Thin-Film Photovoltaic Application」

上記ドキュメントは、（液晶ディスプレイ業界で呼ばれる）第五世代のガラス基板を用いた薄膜系PVアプリケーションの基板サイズレンジの仕様を目的としています。

5．「PV Equipment Interface Specification (PV-EIS) TF」：

本タスクフォースは、日本地区におけるデータ制御系の標準化文書開発活動のため、坂本見恒氏（東京エレクトロン株式会社）のリーダーシップの下に活動中です。同TFは当初より、ヨーロッパ地区のカウンターTFと連携を持ち、既に同地区が開発して発行されている下記スタンダードを、先ず十分に研究するところから活動を開始しました。

「SEMI SEMI PV2-0709 － Guide for PV Equipment Communication Interfaces (PVECI) （邦題：PV製造装置通信インタフェース）」

その後、同TFでは、半導体製造ファブに対してGEM300スタンダードがもたらしているのと同様の効率性を実現するために、PVファブにおける装置オペレーションのためにスタンダードが必要であるとの考えから、下記の新規標準化活動に取り組んでいます。（*SNARFとは、Standards New Activity Report Formのからの造語）

「Activity #4848 － SNARF* for: Generic Equipment Model for Thin Film Photovoltaic Manufacturing (GEM-PV)」