セミナーレポート　SEMI Tutorial 「SEMIソフトウェアスタンダードSECS/GEM」2009年7月1日(水)-2日（木）

セミナーレポート　SEMI Tutorial — SECS/GEM
–　半導体製造装置間の通信スタンダードの基本の解説　–

実施概要 ｜ 参加者プロフィール｜ 参加者アンケート｜ セミナーアジェンダ｜参加企業｜SEMIソフトウェアスタンダード関連セミナーや教材のご紹介｜ お問合せ

実施概要

日時：



場所：
講師：

2009年7月1日（水）－7月2日（木）の2日間
7月1日（水）11:00－18:00　　　　7月2日（木）09:30－16:00
（遠方からご参加の方の移動時間を考慮して、1日目は開始時間を遅めに、2日目は終了時間を早めに設定しました。）

SEMIジャパン会議室
大日本スクリーン製造（株）半導体機器カンパニー 洗浄技術統轄部　高崎義久 氏

開催時のセミナー詳細

セミナー内容

SECS/GEMは、半導体製造のソフトウェア分野における基本中の基本ですが、大変特殊で理解が難しいといわれています。
本セミナーでは、工場システム関連／半導体装置間の通信スタンダードを対象として、基本的概念と詳細内容について、図を中心にわかりやすく解説しました。具体的にはSECS-I/II（E4、E5）、HSMS（E37）、GEM（E30）（右図の赤い線で囲んでいる項目）が今回の範囲でした。
前回の実施で好評だった演習問題を増やし、参加者の理解を定着させる工夫をしました。

セミナー対象者

  • これらスタンダードに初めて取り組む方
  • 体系的に学びたい方
  • 概要を理解していて、より詳細に知りたい方
  • これらスタンダード本文を読んで、疑問に思っていることを解決したい方

参加費（2日間）

（SEMIソフトウェアスタンダード教本の関連箇所を基にした印刷資料、昼食付き）

 

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参加者プロフィール

合計24社から29名のご参加をいただきました。
内訳は下グラフのとおり、装置メーカーの方が中心でした。
また、関東甲信越地域からのご参加が全体の6割を占めるものの、東北や中国・四国など遠方からご参加された方もいました。

   

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参加者アンケート

セミナー終了後、参加者29名のうち28名よりアンケートを頂きました。ご回答の一部をご紹介します。

1. セミナーへの参加目的は何ですか？

セミナー対象者を具体的に設定していましたが、実際そのような方々に多くご参加いただいたようで、下図のとおり、「これらのスタンダードに初めて取り組むため」、「体系的に学びたかったため」、というご意見が特に多くみられました。

2.　セミナーへの参加目的は達成できましたか？

回答者28名中1日目は27名の方に、2日目は28名全員に「達成できた」という評価をいただきました。一方、1日目の「達成できなかった」という回答では、「HSMSがわかりにくかった」というご意見をいただきました。

3.　本セミナーを同僚などに勧めますか？

回答者28名中1日目は27名の方に「勧める」と回答いただきました。「勧めない」の理由は、「まずは自分で使ってみて、ある程度効果が実感できれば勧めたい」というものでした。2日目には28名全員に「勧める」との回答をいただきました。

   

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セミナーのアジェンダ

1日目
11:00-　はじめに
11:10-　半導体通信スタンダードの全体像解説
12:00-　昼食
12:50-　SECS-II (E5)スタンダード解説
14:30-　SECS-I (E4)スタンダード解説
15:00-　休憩
15:10-　HSMS (E37/E37.1)スタンダード解説
16:30-　休憩
16:40-　GEMスタンダードの位置づけと概要
17:40-　質疑応答（18:00終了）

2日目
09:30-　GEMスタンダード(基本性能) 解説
12:00-　昼食
12:50-　GEMスタンダード(追加性能) 解説
14:30-　休憩
14:40-　GEMスタンダード(追加性能) 解説(続き)
15:30-　質疑応答（16:00終了）

   

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参加企業（敬称略・50音順）

（株）アドバンテスト、アルバック理工（株）、キヤノンマーケティングジャパン（株）、コマツ工機（株）、セイコーエプソン（株）、タツモ（株）、東京計装（株）、東レエンジニアリング（株）、日新電機（株）、日本電産トーソク（株）、（株）ニューフレアテクノロジー、バリアン セミコンダクター イクイップメント （株）、（株）日立製作所、三菱電機メカトロニクスソフトウエア（株）、ほか合計24社

SEMIジャパンでは、みなさまのご参加に感謝しております。

また、今後とも、求められるテーマとより良い運営でセミナーを開催してまいりたいと存じますので、ご意見・ご要望などございましたら、下記までご連絡ください。

 

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SEMIソフトウェアスタンダード関連セミナーや教材のご紹介

一般のソフトウェアを専門にしているエンジニアにとっても、半導体製造装置のソフトウェアは大変特殊で理解の難しいものといわれています。
そこで、SEMIジャパンでは、ソフトウェアスタンダード関連セミナーや教材を次のとおりご提供しております。ぜひご活用ください。

・ SEMIソフトウェアスタンダード教本（CD-ROM）
半導体製造ラインの自動化に必須であるソフトウェア分野の規格を、SECSなどの概念ごとに、図を中心にわかりやすく解説しています。体系的に学びたい方には、ぴったりの教材です。

・ SECS/GEMセミナー
1年に1回開催しています。2008年「SEMI Tutorial SECS/GEMセミナー」実施報告書をご参照ください。

・ GEM300セミナー
上記図青線内が対象範囲です。数年に1回開催しています。2009年2月「SEMI Tutorial GEM300セミナー」実施報告書をご参照ください。

 

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お問合せ先

SEMIジャパン　スタンダード部
Tel: 03-3222-6018
Email: jstep@semi.org