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場所：

チェア：

2008年12月2日（火）10:00-17:30
幕張メッセ 国際会議場
（セミコン・ジャパン2008）
パナソニック ファクトリーソリューションズ（株）
R&Dセンター　杉原 健治　氏

開催時のセミナー詳細

S2全体の概説に対する要望と各専門分野の詳細説明を求める声双方に応える構成としました。

セミナー内容

半導体製造装置の安全性能基準をまとめた「SEMI S2」について、第一部では基本的な安全設計の要求事項や考え方を概説し、第二部では特定分野ごとに分かれ、それぞれについて具体例を交えて詳細を説明しました。

セミナー対象者

• これからS2を読み解こうとされる初心者の方
• 概要を理解していて、より詳細に知りたい方
• 日頃疑問に思っていることを解決したい方

参加費

• 11月21日(金)まで：20,000円
• 11月22(土)以降：24,000円
• テキスト、昼食付き

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合計29社から41名のご参加をいただきました。内訳は下グラフのとおり、装置メーカーが半数を占めておりましたが、半導体メーカーおよびFPDメーカーにも毎回コンスタントにご参加いただいております。また、毎年大阪と幕張メッセで同セミナーを各1回開催しておりますので、幕張メッセでの開催となりました今回は、関東甲信越地域からのご参加が全体の6割を占めました。なお、2005年より定期的にSTEP/S2を開催しておりますが、これまでに650名を超える方にご参加をいただいております。

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1. 本日ご参加された目的をお聞かせください。

S2の基本的な考え方を理解することを期待してご参加された方が多くを占めました。他には、「最新改訂や今後の動向が知りたかった」、「自社の装置が安全基準を満足しているかを確認したかった」ということでご参加された方もいました。

2. 目的は達成できましたか？NOの場合は、その理由をお聞かせください。

9割以上の方に「達成できた」という評価をいただきました。一方、「達成できなかった」という回答では、「今後の動向が聞けなかったことが残念」、「質疑が時間不足」などのご意見をいただきました。

3. 内容についての評価をお聞かせください。

「広く深く内容について理解できた」、「日常業務での考え方の確認ができた」、「非常にわかりやすく、今まで『S2を満足するように』と自分のお客様から単純に指示されるだけだったり、また、S2→付属書というようにいろいろ調べていかないとわかりづらかったが、今回の資料は見やすくて良かった」など、6割以上の方に「大変満足」「満足」の評価をいただきました。一方、「普通」という回答では、「今後の動向が良くわからなかった」、「盛りだくさんで時間不足」などのご意見をいただきました。

4. 構成（第一部と第二部に分けた構成）についての評価をお聞かせください。

過去数年にわたり定期的に同様のセミナーを開催してきましたが、S2全体の概説に対するニーズと各専門分野のより詳細な説明を求めるニーズがどちらも多かったため、今回はじめてセミナーを二部構成とし、第一部では基本的な安全設計の要求事項や考え方を概説し、第二部では特定分野ごとに分かれた分科会形式として、それぞれの分野について具体例を交えながらより詳細説明をしました（参加者に事前に、化学、電気、機械の3分野の中から1つを選択いただき、別々の会場にて受講いただく方式でした）。

この構成に対して、「概要から詳細へと展開して理解が助かった」、「構成を分けていただいたことでより自分に合った分野を深く聞くことができた。また、全体の話も聞くことができたのもよかった」、「知りたい内容にしぼって理解できた」など、7割の方から「大変満足」「満足」の回答をいただきました。一方、「普通」という回答では、「すべてを聞きたい」、「他の分野についても受講したかった」などのご意見もいただきました。

5. SEMI S2を解説するセミナー「STEP/S2」が今後も開催されることを希望されますか？

「希望する」と回答いただいた方は全体の7割以上となりました。

「STEP/ SEMI S2」は、SEMI FORUM JAPAN 2009の期間中に大阪で開催します。いただいたご意見をもとに中身をさらに充実させる予定です。また、SEMI S2は本年7月に3年に一度の改訂出版がなされます。セミナーでは出版を前に改訂情報もいち早くお伝えします。

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10:00

開会

10:15

安全に対する考え方、一般規定、ユーザに提出する文書類、危険警告ラベル、人間工学および人的要因（概論）

インテル（株）
野島 孝夫

11:40

評価プロセス

（株）エヌエスエス
湊 秀和

12:00

昼食

12:45

安全インタロックシステム（概論）、緊急シャットダウン（概論）、危険エネルギーの切離し

パナソニック ファクトリーソリューションズ（株）
杉原 健治

13:35

レーザ、音圧レベル

（株）キューセス
荒木 実

14:15

休憩および移動

・電気系

安全インタロックシステム（各論）/ 緊急シャットダウン（各論）/ 電気設計/ 電離放射線/ 非電離放射線およびフィールド

パナソニックファクトリーソリューションズ（株）　杉原 健治
（株）キューセス 荒木 実

・化学系

防火/ 加熱化学槽/ 環境への配慮/ 排気換気/ 化学物質

オムロン（株）　井上 正也
セーフテクノリミテッド（株）　野川 薫

・機械系

人間工学および人的要因（各論）/ 機械設計/ 地震保護/ 自動材料搬送機

インテル（株）　野島 孝夫
（株）エヌエスエス　湊 秀和

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